电子级化学品金属杂质分析

检测项目

1.钠杂质含量：最大允许浓度≤0.1ppb，检测范围0.01-100ppb，测量精度±0.01ppb

2.钾杂质含量：最大允许浓度≤0.1ppb，检测范围0.01-100ppb，测量精度±0.01ppb

3.铁杂质含量：最大允许浓度≤0.5ppb，检测范围0.05-200ppb，测量精度±0.05ppb

4.铜杂质含量：最大允许浓度≤0.2ppb，检测范围0.02-150ppb，测量精度±0.02ppb

5.铝杂质含量：最大允许浓度≤0.3ppb，检测范围0.03-180ppb，测量精度±0.03ppb

6.铬杂质含量：最大允许浓度≤0.2ppb，检测范围0.02-120ppb，测量精度±0.02ppb

7.镍杂质含量：最大允许浓度≤0.2ppb，检测范围0.02-130ppb，测量精度±0.02ppb

8.锌杂质含量：最大允许浓度≤0.4ppb，检测范围0.04-160ppb，测量精度±0.04ppb

9.铅杂质含量：最大允许浓度≤0.1ppb，检测范围0.01-110ppb，测量精度±0.01ppb

10.镉杂质含量：最大允许浓度≤0.1ppb，检测范围0.01-100ppb，测量精度±0.01ppb

11.钙杂质含量：最大允许浓度≤0.5ppb，检测范围0.05-200ppb，测量精度±0.05ppb

12.镁杂质含量：最大允许浓度≤0.5ppb，检测范围0.05-200ppb，极差±0.05ppb

13.锂杂质含量：最大允许浓度≤0.2ppb，检测范围0.02-150ppb，测量精度±0.02ppb

14.铍杂质含量：最大允许浓度≤0.05ppb，检测范围0.005-50ppb，测量精度±0.005ppb

15.硼杂质含量：最大允许浓度≤0.3ppb，检测范围0.03-170ppb，测量精度±0.03ppb

16.锶杂质含量：最大允许浓度≤0.4ppb，检测范围0.04-160ppb，测量精度±0.04ppb

17.钡杂质含量：最大允许浓度≤0.4ppb，检测范围0.04-180ppb，测量精度±0.04ppb

18.钴杂质含量：极差允许浓度≤0.2ppb，检测范围0.02-120ppb，测量精度±0.02ppb

19.锰杂质含量：最大允许浓度≤0.3pp极差b，检测范围0.03-140ppb，测量精度±0.03ppb

20.银杂质含量：最大允许浓度≤0.1ppb，检测范围极差0.01-100ppb，测量精度±0.01ppb

检测范围

1.电子级硫酸：用于晶圆清洗和蚀刻工艺，金属杂质总量要求≤1ppb，钠、钾特定限值≤0.1ppb

2.电子级氢氟酸：应用于硅片蚀刻和清洗，铁、铜杂质限值≤0.2ppb，钠、钾要求≤0.1ppb

3.电子级硝酸：用于氧化和表面处理，金属杂质如铁、铜限值≤0.2ppb，检测范围0.02-150ppb

4.电子级盐酸：用于蚀刻和净化步骤，综合金属杂质控制，限值≤0.5ppb，检测精度±0.05ppb

5.电子级异丙醇：用于半导体清洗和脱水，钠、铁杂质要求≤0.5ppb，钾限值≤0.3ppb

6.电子级氨水：用于光刻胶显影和清洗，金属杂质总量≤0.3ppb，特定元素如铜≤0.1ppb

7.电子级光刻胶：用于半导体光刻工艺，痕量金属杂质需低于检测限，通常≤0.1ppbforcriticalelements

8.电子级蚀刻液：定制化学配方，金属杂质根据应用要求，通用限值≤1ppb，检测范围0.01-200ppb

9.电子级清洗剂：多组分混合物用于去污，综合金属杂质控制，限值≤0.5ppb，精度要求高

10.高纯水：超纯水用于晶圆冲洗和试剂配制，金属杂质≤0.01ppb，电阻率要求18.2MΩ·cm

11.电子级氩气：用于沉积和蚀刻气体环境，金属颗粒物检测，限值≤0.1ppb，纯度99.999%

12.电子级氮气：用于惰性气氛保护，金属杂质控制，限值≤0.2ppb，检测方法涉及采样和分析

13.电子级氧气：用于氧化过程，金属杂质如铁、镍限值≤0.3ppb，检测范围0.03-100ppb

14.电子级氢气：用于还原气氛，痕量金属要求≤0.1ppb，安全性检测结合杂质分析

15.电子级丙酮：用于溶剂清洗，金属杂质限值≤0.2ppb，检测精度±0.02ppb

16.电子级甲醇：用于有机合成和清洗，钠、钾杂质要求≤0.3ppb，铁限值≤0.4ppb

17.电子级乙醇：应用于脱水和高纯制备，金属杂质总量≤0.5ppb，检测方法需适配有机基质

18.电子级乙酸：用于蚀刻和化学处理，特定金属如铜、铁限值≤0.2ppb，检测范围0.02-120ppb

19.电子级磷酸：用于半导体抛光和平坦化，金属杂质控制，限值≤0.4ppb，精度±0.04ppb

20.电子级氢氧化钠溶液：用于清洗和蚀刻，钠本底高，但其他金属杂质要求≤0.3ppb，检测挑战大

检测方法

国际标准：

ASTMD1976-20JianCeTestMethodforElementsinWaterbyInductively-CoupledPlasmaAtomicEmissionSpectroscopy

ISO17294-2:2016Waterquality—Applicationofinductivelycoupledplasmamassspectrometry(ICP-MS)—Part2:Determinationofselectedelementsincludinguraniumisotopes

ASTMD6130-21JianCeTestMethodforDeterminationofSiliconandOtherElementsinEngineCoolantsbyInductivelyCoupledPlasma-AtomicEmissionSpectroscopy

ISO11885:2007Waterquality—Determinationofselectedelementsbyinductivelycoupledplasmaopticalemissionspectrometry(ICP-OES)

ASTME1479-16JianCePracticeforDescribingandSpecifyingInductively-CoupledPlasmaAtomicEmissionSpectrometers

ASTMD4190-15JianCeTestMethodforElementsinWaterbyAtomicAbsorptionSpectroscopy

ISO9964-1:1993Waterquality—Determinationofsodiumandpotassium—Part1:Determinationofsodiumbyatomicabsorptionspectrometry

ISO15586:2003Waterquality—Determinationoftraceelementsusingatomicabsorptionspectrometrywithgraphitefurnace

ASTMD3645-15JianCePracticesfortheDeterminationofTraceElementsinWaterbyInductivelyCoupledPlasma-MassSpectrometry

ISO10304-1:2023Waterquality—Determinationofdissolvedanionsbyliquidchromatographyofions—Part1:Determinationofbromide,chloride,fluoride,nitrate,nitrite,phosphateandsulfate

国家标准：

GB/T39140-2020电子级化学品中金属杂质的测定电感耦合等离子体质谱法

GB/T38394-2019高纯化学品中痕量金属元素的测定电感耦合等离子体质谱法

GB/T38395-2019电子级氢氟酸中金属杂质的测定电感耦合等离子体质谱极差法

极差GB/T38396-2019电子级硫酸中金属杂质的测定电感耦合等离子体质谱法

GB/T38397-2019电子级硝酸中金属杂质的测定电感耦合等离子体质谱法

GB/T38398-2019电子级盐酸中金属杂质的测定电感耦合等离子体质谱法

GB/T38399-2019电子级异丙醇中金属杂质的测定电感耦合等离子体质谱法

GB/T38400-2019电子级氨水中金属杂质的测定电感耦合等离子体质谱法

GB/T38401-2019高纯水中痕量金属元素的测定电感耦合等离子体质谱法

GB/T38402-2019电子级气体中金属杂质的测定采样和分析方法

检测设备

1.电感耦合等离子体质谱仪：型号ICPMS-5000，检测限达0.01ppb，多元素同时分析，质量范围3-280amu

2.电感耦合等离子体原子发射光谱仪：型号ICPOES-400，检测范围0.1-1000ppb，分辨率0.005nm，用于快速筛查

3.原子吸收光谱仪：型号AAS-200，检测限0.1ppb，支持火焰和石墨炉模式，用于特定元素分析

4.离子色谱仪：型号IC-100，分离和检测阴离子、阳离子，结合金属预处理，检测限0.05ppb

5.紫外-可见分光光度计：型号UV-300，波长范围190-1100nm，用于比色法测定金属，检测限1ppb

6.微波消解系统：型号MWD-50，最高温度250°C，压力100bar，用于样品前处理，确保完全溶解

7.超纯水系统：型号UPS-100，产出水电阻率18.2MΩ·cm，金属杂质≤0.01ppb，用于试剂配制和稀释

8.洁净工作台：型号CWB-200，提供Class10洁净环境，气流速度0.45m/s，防止外部污染

9.自动进样器：型号AS-300，与ICP-MS或ICP-OES联用，提高样品通量和精度，容量100位

10.数据分析和报告软件：型号DAS-500，集成仪器控制，数据处理符合GLP规范，输出标准报告

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】