电子级纯水检测

检测项目

理化指标：

• 电导率/电阻率：≥18.2MΩ·cm @25℃（参照GB/T JianCe46.1-2013）
• 总有机碳（TOC）：≤5μg/L（SEMI F63-0221）
• 溶解二氧化硅：≤3μg/L（ASTM D859-16）

离子污染物：

• 阴离子（Cl⁻、NO₃⁻等）：≤0.1μg/L（GB/T 33086-2016）
• 阳离子（Na⁺、K⁺等）：≤0.05μg/L（SEMI C1-1109）
• 重金属（Fe、Cu、Zn等）：≤0.01μg/L（ICP-MS法）

微粒控制：

• ≥0.1μm颗粒数：≤100个/mL（SEMI F57-0221）
• ≥0.05μm颗粒数：≤1000个/mL（激光粒子计数法）

微生物指标：

• 细菌总数：≤1CFU/100mL（GB/T 33087-2016）
• 内毒素：≤0.001EU/mL（动态显色法）

气体含量：

• 溶解氧：≤10μg/L（膜电极法）
• 总二氧化碳：≤100μg/L（ASTM D513-16）

氧化还原性：

• 氧化还原电位（ORP）：±50mV（在线监测）

硼/硅专项：

• 总硼：≤0.01μg/L（甲亚胺-H分光光度法）
• 胶体硅：≤2μg/L（钼蓝反应法）

有机物痕量分析：

• 挥发性有机物（VOCs）：≤0.5μg/L（GC-MS）
• 半挥发性有机物（SVOCs）：≤0.2μg/L（LC-MS）

放射性核素：

• 总α/β放射性：≤0.1Bq/L（GB/T 5750.13-2023）

表面张力：

• 动态表面张力：≥72mN/m @25℃（悬滴法）

检测范围

1. 集成电路制造用水： 晶圆冲洗、蚀刻液配制用水，重点监控金属离子及0.1μm颗粒

2. 光伏硅片清洗水： 多晶硅切割后清洗，侧重硼/铁离子及TOC控制

3. 医药注射用水（WFI）： 生物制剂原料，严控内毒素及微生物

4. 平板显示面板刻蚀液： 液晶面板生产，需检测钠钾离子及微粒分布

5. 锂电隔膜涂布水： 电极涂层溶剂，重点分析锌镍杂质及电阻率

6. 超纯蒸汽冷凝水： 无菌工艺系统，监测硅含量及溶解气体

7. 高端光学镜头清洗水： 镜片镀膜前处理，控制微粒及表面张力

8. 核级水循环系统： 反应堆冷却水补充，检测放射性核素及氯离子

9. 生物实验室超纯水： PCR/测序用水，确保DNase/RNase零残留

10. 纳米材料合成用水： 量子点制备，重点分析有机溶剂残留

检测方法

国际标准：

• ASTM D5127-13 超纯水微量阴离子测定（离子色谱法）
• SEMI F63-0221 电子级水TOC在线监测规范
• ISO 3696:1987 实验室分析用水规格
• USP<645> 药典注射用水电导率测试

国家标准：

• GB/T JianCe46.1-2013 电子级水电阻率测试（电极池法）
• GB/T 33086-2016 超纯水痕量阴离子检测（浓缩富集-IC法）
• GB/T 5750.13-2023 生活饮用水放射性指标检验
• GB/T 6682-2008 分析实验室用水规格（三级水以上适用）

方法差异说明：ASTM D5127采用梯度淋洗技术检测ppb级阴离子，GB/T 33086增加在线浓缩步骤提升灵敏度；SEMI F63规定TOC实时监测数据采集频率，而药典标准侧重电导率温度补偿算法

检测设备

1. 超纯水电阻率仪： Mettler Toledo InLab 7310（量程0.01-20MΩ·cm，精度±0.01μS/cm）

2. 在线TOC分析仪： Sievers M9（检测限0.03μg/L，UV过硫酸盐氧化）

3. 激光粒子计数器： Particle Measuring Systems Liquilaz S5（0.05-5μm粒径通道）

4. 电感耦合等离子体质谱仪： PerkinElmer NexION 2000（ppt级金属检测）

5. 离子色谱仪： Thermo Scientific Dionex ICS-6000（阴离子检出限0.01μg/L）

6. 微生物限度检测系统： Millipore Milliflex Quantum（0.22μm滤膜培养）

7. 动态表面张力仪： Kruss BP100（最大泡压法，时间分辨率0.1s）

8. 总硅分析仪： Hach 5500sc（钼酸蓝法，范围0.1-500μg/L）

9. 内毒素检测仪： Charles River Endosafe Nexgen（动态显色法，0.001-50EU/mL）

10. 气相色谱质谱联用仪： Agilent 8890-5977B（VOCs检测限0.01μg/L）

11. 放射性活度仪： Canberra iSolo（α/β同时测量，检出限0.01Bq/L）

12. 溶解氧分析仪： Hach Orbisphere 3655（膜电极法，精度±0.5μg/L）

13. 硼专项分光光度计： Hitachi UH5300（甲亚胺-H法，0.01μg/L级）

14. 纳米颗粒追踪仪： Malvern NanoSight NS300（10-2000nm粒径分析）

15. 超纯水取样系统： Entegris Ultra-Pure Sampling Station（氮气密封循环，防污染设计）

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"电子级纯水检测"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检检测技术研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。