检测项目

等离子体温度：通过Stark展宽法测量，典型范围5000-20000K

电子密度：基于谱线强度比计算，区间1e18-1e20 cm⁻³

元素浓度：采用标准曲线法定量，检测限0.1-100 ppm

光谱强度稳定性：RSD≤3%（重复脉冲10次）

等离子体空间分布：分辨率优于10μm（三维重建）

检测范围

金属材料：铝合金、钛合金、高温合金等

半导体材料：单晶硅、砷化镓、碳化硅晶圆

薄膜材料：光伏镀层、光学涂层（厚度50nm-5μm）

生物样本：骨骼/牙齿钙磷比（无损检测）

复合材料：碳纤维增强聚合物（CFRP）

检测方法

ASTM E3061-17：激光诱导击穿光谱（LIBS）通则

ISO 18554:2016：材料表面元素分析技术规范

GB/T 36242-2018：激光等离子体光谱检测规程

ISO 21258:2010：等离子体温度测量不确定度评定

GB 17378.4-2007：海洋沉积物重金属检测应用指南

检测设备

光谱仪：Avantes AvaSpec-ULS2048（波长范围200-1100nm，分辨率0.1nm）

激光源：Quantel Q-smart 850（波长1064nm，脉冲能量100-500mJ）

三维平台：PI H-811.D2（定位精度±0.1μm，行程200×200mm）

时序控制器：Stanford DG645（延迟抖动≤50ps）

真空系统：Leybold TW70（极限真空5e-3Pa）