检测项目

洁净度分级检测：

• 粒子浓度：≥0.1μm/0.3μm/0.5μm粒径阈值（ISO14644-1:2015）
• 粒径分布：0.1-5μm区间占比（动态波动≤±15%）

• 形态分析：球形度偏差（SEM成像）
• 密度测定：沉降法密度（＞1.2g/cm³）

• 金属离子含量：钠/钾/铁离子（≤0.1μg/m³，ICP-MS）
• 有机物污染：TVOC总量（PID检测≤100ppb）

• 表面电位：|ΔV|≤50V（ESDTR53标准）
• 电荷消散：＞5000V/s衰减速率

• 浮游菌浓度：沉降法（＜1CFU/m³）
• 表面菌落：接触碟法（≤5CFU/皿）

• 风速均匀性：±15%偏差（ISO14644-3）
• 湍流强度：≤20%RMS值

• MPPS穿透率：≤0.001%（EN1822-2019）
• 泄漏扫描：局部浓度≤限值200%

• 相对湿度：45±5%RH波动控制
• 温度梯度：垂直方向≤3℃/m

• 静态沉降量：晶圆表面（＜0.1g/m²·h）
• 动态沉降量：传输过程（＜0.05g/m²·h）

• ≥0.1μm粒子：报警阈值设定（5%超限值）
• 金属离子突变：10s响应延迟

检测范围

1.硅片切割区：金刚线切割产生的亚微米级硅粉及切割液残留物，重点监控0.3μm粒子浓度

2.扩散炉管：磷源扩散工艺残留粒子，检测磷化物结晶及钠离子污染

3.PECVD腔体：氮化硅粉尘及未反应前驱体，侧重硅烷分解产物分析

4.丝网印刷车间：银浆/铝浆金属颗粒扩散，管控＞1μm导电粒子沉降

5.层压工序：EVA胶膜热熔析出物，检测有机挥发物附着量

6.清洗线体：DI水携带电粒子污染，监控电阻率＞18MΩ·cm

7.人员洁净服：纤维脱落量检测，≥0.5μm粒子释放≤200个/min·人

8.高效送风口：HEPA/JianCePA过滤器下游，验证MPPS穿透率

9.周转载具：晶舟盒表面粒子释放，静态释放量＜10个/m³·h

10.工艺气体：氮气/氩气输送系统，检测＞0.02μm粒子浓度（≤1pc/L）

检测方法

国际标准：

• ISO14644-1:2015洁净室悬浮粒子浓度分级
• ISO14644-2:2015洁净室持续监测要求
• IESTRP-CC018.6洁净室表面清洁度判定

• GB/T25915.1-2021洁净室及相关受控环境第1部分：空气洁净度等级
• GB50073-2013洁净厂房设计规范（附录B）
• GB/T16292-2010医药工业洁净室悬浮粒子测试方法

检测设备

1.激光粒子计数器：LighthouseSolair3100型（0.1-5μm六通道，流量28.3L/min）

2.扫描电镜-能谱仪：FEIInspectF50（分辨率1.5nm，元素分析范围B-U）

3.离子色谱仪：Metrohm930型（钠离子检测限0.01ppb）

4.静电电位计：TrekModel370（量程±10kV，分辨率1V）

5.浮游菌采样器：MerckMAS-100NT（100L/min，撞击速率20m/s）

6.热式风速仪：TSI9545（精度±3%，量程0-20m/s）

7.气溶胶发生器：ATITDA-5B（0.02-20μm可调，浓度10⁶pc/m³）

8.凝结核计数器：TSI3772（2.5-3000nm粒径覆盖）

9.石英微量天平：3M3000DS（分辨率0.1μg，沉降量监测）

10.气相色谱质谱联用仪：Agilent8890-5977B（TVOC检测限0.1ppb）

11.在线粒子监测系统：ParticleMeasuringSystemsRMS（100点同步采样）

12.气体纯度分析仪：SystechMG8（O₂≤0.1ppm，H₂O≤0.5ppm）