检测项目

粗糙度参数（Ra：0.01-10μm，Rz：0.1-100μm）

波纹度参数（Wt：1-1000μm，Wsa：0.1-50μm）

轮廓形状偏差（Pt：0.1-500μm，Sm：0.01-10mm）

表面缺陷检测（划痕深度≤5μm，凹坑直径≥10μm）

微观结构分析（间距分辨率≤0.1μm，三维形貌重建精度±2%）

检测范围

金属材料：不锈钢、铝合金、钛合金锻件及机加工表面

聚合物材料：注塑件、薄膜涂层、医用导管内壁

陶瓷与玻璃：光学镜片、半导体晶圆、耐火材料

精密机械部件：轴承滚道、齿轮啮合面、液压阀芯

电子元件：PCB焊盘、芯片封装表面、柔性电路基材

检测方法

触针式测量法：ASTM D7127-2015（聚合物表面）、ISO 4287:1997（通用参数）

白光干涉法：ISO 25178-2:2012（非接触三维测量）

激光散射法：GB/T 10610-2009（快速粗糙度评估）

共聚焦显微法：GB/T 3505-2009（微观形貌分析）

数字图像处理法：GB/T 32462-2015（表面缺陷量化）

检测设备

Taylor Hobson Form Talysurf i-Series：触针式轮廓仪，支持Ra/Rz/Rt参数，量程±500μm

Mitutoyo Surftest SJ-410：便携式粗糙度仪，符合JIS B 0601-2001标准

Bruker ContourGT-X8：白光干涉三维轮廓仪，垂直分辨率0.1nm

Olympus LEXT OLS5000：激光共聚焦显微镜，支持12000×超景深成像

中科仪器 SCM3000：符合GB/T 6062的接触/非接触双模测量系统