检测项目
微安级漏电流测试（0.1μA-1000μA±0.5%）
绝缘材料表面导电性（10-6S/m-10-12S/m）
半导体器件静态功耗电流（1μA-500μA±0.2%）
电化学传感器基底噪声（≤5μA@25℃）
高压设备局部放电起始电流（50μA-200μA±1%）
检测范围
半导体晶圆及封装器件（如MOSFET、IGBT）
医用植入式电子设备传感器
高压绝缘材料（环氧树脂、硅橡胶）
锂离子电池隔膜材料
航天器用抗辐射电缆组件
检测方法
ASTM D257-14：绝缘材料直流电阻/电导率测试
ISO 13485:2016：医疗器械电气安全通用要求
GB/T 17626.2-2018：电磁兼容试验静电放电抗扰度
IEC 60601-1:2005：医用电气设备漏电流测试规范
GB/T 31485-2015：动力电池单体放电性能试验
检测设备
Keysight B2985A静电计/高阻表（最小分辨率0.01fA）
Tektronix Keithley 6517B静电计（10aA-20mA量程）
Chroma 19032耐压测试仪（0-5kV/0.1μA精度）
Fluke 1587 FC绝缘电阻测试仪（0.01MΩ-10GΩ）
HIOKI IM3590化学阻抗分析仪（4μA-1A AC/DC测量）