检测项目

氦泄漏率测定：灵敏度范围1×10⁻⁹~1×10⁻¹² Pa·m³/s

真空系统保压性能：极限真空度≤5×10⁻⁴ Pa

残余气体分析：H₂O/O₂/N₂分压值≤1×10⁻³ Pa

渗透率测试：材料厚度0.1-5mm条件下的氦渗透系数

循环压力耐受性：交变压力0.1-2MPa下500次循环泄漏稳定性

检测范围

半导体封装器件：芯片级封装/晶圆级封装组件

真空设备密封件：金属波纹管/陶瓷馈通件/橡胶O型圈

压力容器系统：LNG储罐/核级阀门/航天推进剂贮箱

医用植入器械：心脏起搏器/人工关节密封腔体

新能源装备：燃料电池双极板/锂电池铝塑膜封装

检测方法

ASTM E493-22：质谱仪检漏的标准试验方法

ISO 20486:2017：密封件氦泄漏测试方法

GB/T 12604.7-2021：无损检测术语 泄漏检测

GB/T 34528-2017：气瓶组合阀门氦质谱检漏方法

ISO 15848-1:2015：工业阀门微泄漏等级评定标准

检测设备

INFICON UL1000氦质谱检漏仪：最小可检漏率5×10⁻¹³ Pa·m³/s

Agilent VS系列分子泵机组：极限真空度5×10⁻⁶ Pa

LACO Tech QLT-300定量校准漏孔：标定范围1×10⁻⁵~1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s

Pfeiffer HLT560四极杆质谱仪：质量数范围1-200amu

Varian 979系列真空计组：测量范围10⁵~10⁻⁷ Pa全量程覆盖