检测项目

密封系统整体泄漏率测试：最小可检漏率1×10^-7 mbar·L/s

局部泄漏点定位精度：空间分辨率≤0.5mm

压力循环耐受测试：工作压力范围-1~40bar

氢气浓度梯度分析：检出限0.1ppm(v/v)

渗透率长期稳定性测试：持续监测时长≥72h

检测范围

金属焊接结构件（不锈钢/铝合金/钛合金）

高分子材料密封组件（氟橡胶/聚四氟乙烯）

半导体器件封装壳体（陶瓷/金属复合封装）

真空系统密封单元（分子泵/离子泵腔体）

新能源电池模组外壳（锂电/PEM电解槽）

检测方法

ASTM E499-14(2021)：示踪气体法真空系统泄漏测试标准

ISO 20486:2017：氦氢混合气体检漏技术规范

GB/T 12604.7-2021：无损检测术语-泄漏检测

GB/T 34523-2017：真空技术-氦质谱检漏仪校准规范

ASME BPVC Section V Art.10：承压设备真空罩检漏法

检测设备

INFICON H3000氢传感器：响应时间＜3s，量程5×10^-8-1×10^-3 mbar·L/s

Leybold PHOENIX L300i：集成双模式探头（接触式/非接触式）

Agilent H2000氢谱分析仪：配备四级杆质谱模块（质量数1-200amu）

Pfeiffer ASM 340全自动检漏台：支持SNIFFER模式与真空模式切换

Shimadzu HS-10便携式检漏仪：内置GPS定位与数据追溯系统