检测项目

Ra（算术平均偏差）：测量范围0.025-6.3μm，分辨率0.001μm

Rz（最大高度）：测量范围0.1-100μm，采样长度0.08-2.5mm

Rmax（单点最大峰谷差）：精度±5%，量程0.1-160μm

Rq（均方根粗糙度）：动态范围0.01-10μm

Rmr（轮廓支承长度率）：分析比例10%-90%，步长1%

检测范围

金属材料：铝合金/钛合金/不锈钢加工面（车削/磨削/抛光）

塑料制品：注塑成型件/薄膜表面/复合材料界面

精密零件：轴承滚道/齿轮啮合面/液压阀芯

光学元件：透镜模仁/棱镜抛光面/镀膜基材

复合材料：碳纤维层压板/陶瓷涂层/金属粉末烧结件

检测方法

接触式测量：ISO 4287-1997轮廓法/GB/T 3505-2009触针式仪器标定

非接触测量：ASTM E1810-2012白光干涉法/ISO 25178-2共聚焦显微术

比对测量：GB/T 10610-2009标准样块校准规程

动态测量：ISO 13565-3滤波处理技术/GB/T 18777-2009相位修正滤波

统计分析：ASME B46.1数据置信度评估/JIS B0633异常值剔除准则

检测设备

Taylor Hobson Surtronic S-100系列：接触式轮廓仪，Ra/Rz同步测量精度±2%

Mitutoyo SJ-410非接触表面仪：激光干涉技术，Z轴分辨率0.01nm

Bruker ContourGT-X3：白光干涉三维成像系统，符合ISO 25178标准

Mahr MarSurf LD260：多探头复合测量系统，支持DIN EN ISO 4288规范

ZeSmart SmartProof 5：共聚焦显微镜系统，满足VDI/VDE 2650光学测量要求