检测项目

漏率检测：灵敏度范围1×10⁻¹²~1×10⁻⁴ Pa·m³/s

泄漏点定位：空间分辨率≤0.5mm

系统本底噪声：≤5×10⁻¹³ Pa·m³/s

氦气回收率：≥95%（循环系统）

真空度维持能力：极限压力≤5×10⁻⁶ Pa

检测范围

金属材料：不锈钢焊缝、铝合金铸件、钛合金密封结构

复合材料：碳纤维增强聚合物（CFRP）接头、陶瓷-金属复合封装

电子器件：半导体晶圆封装、MEMS器件真空腔体

能源设备：燃料电池双极板、核反应堆冷却管路

密封元件：O型圈动态密封系统、波纹管伸缩节

检测方法

喷吹法（ASTM E493）：氦气喷射压力0.1~0.3MPa，扫描速度≤25mm/s

吸枪法（ISO 20486）：采样流量10⁻⁴~10⁻² mbar·L/s

真空累积法（GB/T 32218）：累积时间30~600s可调

背压法（GB/T 12604.7）：加压范围0.2~2.0MPa（表压）

氦质谱联用技术（ISO 15848）：质谱仪分辨率≥300M/ΔM

检测设备

氦质谱检漏仪：Leybold PHOENIX L300i（最小可检漏率5×10⁻¹³ Pa·m³/s）

真空抽气系统：Pfeiffer HiPace 700（极限真空5×10⁻⁷ Pa）

多通道采集系统：INFICON Argos QMB（支持32点同步监测）

自动扫描平台：VAT 57411-S（定位精度±0.1mm）

校准漏孔：PTB认证标准漏孔（标称值1×10⁻⁸~1×10⁻¹² Pa·m³/s）

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与真空氦检漏检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。