检测项目

垂直度偏差：≤0.05mm/m（基于基准平面）

轴向同心度误差：≤±0.1mm（中心轴偏移量）

底面平行度公差：≤0.1mm（全平面扫描）

高度重复定位精度：±0.02mm（10次循环测试）

热膨胀补偿偏差：≤0.03mm/100℃（1200℃温控环境）

检测范围

高纯石墨坩埚（灰分≤50ppm）

氧化铝陶瓷坩埚（纯度≥99.6%）

镍基高温合金坩埚（Inconel 718材质）

石英玻璃坩埚（SiO₂含量≥99.99%）

碳化硅复合材料坩埚（SiC体积分数≥85%）

检测方法

ASTM E177-20：测量系统不确定度评定规范

ISO 7500-1:2018：静态单轴试验机的校验

GB/T 1800.3-2020：产品几何技术规范（GPS）极限与配合

GB/T 1184-1996：形状和位置公差未注公差值

ISO 1101:2017：几何公差标注规范

检测设备

Hexagon Global Classic 07.10.07三坐标测量机：空间精度±(1.9+3L/1000)μm

Renishaw XL-80激光干涉仪：线性测量分辨率0.001μm

Mitutoyo 192-102数显高度规：量程0-200mm，精度±1μm

Creaform HandySCAN 3D扫描仪：点距精度0.025mm

Siemens SINUMERIK 840D数控系统：闭环控制定位精度±2μm