检测项目
1.灵敏度测试:测量微瓦级光功率下的电流输出精度(0.5nA)
2.暗电流分析:在零光照条件下检测基底噪声(≤1pA/cm)
3.响应时间测定:记录纳秒级上升/下降沿时间(10ns分辨率)
4.光谱响应特性:扫描300-1700nm波长范围的量子效率(QE≥80%)
5.温度稳定性试验:-40℃至+85℃环境下的输出漂移(Δ<0.05%/℃)
检测范围
1.硅基光电二极管阵列(Si-PDArray)
2.雪崩光电二极管(APD)模块
3.互补金属氧化物半导体图像传感器(CMOSImageSensor)
4.铟镓砷近红外探测器(InGaAsNIRDetector)
5.光电倍增管组件(PMTAssembly)
检测方法
ASTME2593-17:光电探测器绝对光谱响应测量规程
ISO16505:2015:道路车辆图像传感器光学性能测试
GB/T15633-2020:半导体光电器件参数测试方法
GB/T26183-2010:红外焦平面阵列特性测量规范
IEC60747-5-5:2020:分立器件-光电子器件测试标准
检测设备
1.AgilentB2902A精密源表:提供pA级电流测量精度
2.KeysightN9020BMXA信号分析仪:50GHz带宽噪声分析
3.OrielCS260B单色仪系统:0.1nm波长精度光谱扫描
4.TektronixDPO73304S示波器:33GHz采样率响应时间测量
5.ESPECSH-642恒温恒湿箱:0.1℃温控稳定性测试
6.LabsphereUSS-1200D均匀光源系统:99%空间均匀性校准
7.Keithley2636B双通道源表:同步I-V特性曲线扫描
8.HamamatsuC12132光子计数单元:单光子级别灵敏度验证
9.BrukerContourGT-X3白光干涉仪:表面形貌三维分析
10.Fluke6100A电能标准源:供电纹波特性测试(≤1mVpp)