检测项目

1.曲面几何偏差：测量实际矢高与理论值的偏差量程0.1-500μm；

2.曲率半径误差：分析半径公差范围0.01%-5%；

3.表面轮廓一致性：评估轮廓度误差≤0.5μm；

4.非对称性畸变：检测非对称偏差≤3μm/100mm；

5.热变形补偿：监测温度波动1℃时的矢高变化量。

检测范围

1.光学元件：非球面透镜、自由曲面反射镜、菲涅尔镜片；

2.精密机械零件：轴承滚子曲面、涡轮叶片气动面；

3.模具型腔：注塑模具曲面型腔、压铸模工作表面；

4.医疗器械：人工关节接触面、牙科修复体咬合面；

5.航空航天部件：整流罩内壁曲面、发动机燃烧室内衬。

检测方法

1.ASTMF534-18：非接触式激光干涉法测量光学元件矢高；

2.ISO10110-5:2015：光学元件表面形状公差评定规范；

3.GB/T1800.2-2020：产品几何技术规范（GPS）基础公差；

4.GB/T11337-2004：平面度误差测量三坐标法；

5.ISO12180-2:2018：圆柱度与圆锥度几何特性规范。

检测设备

1.ZeissACCURA三坐标测量机：配备VASTXTgold扫描探头，空间精度(1.9+L/250)μm；

2.TaylorHobsonPGIOptics轮廓仪：分辨率0.8nm，最大测量直径600mm；

3.MitutoyoCMM-CrystaApexS：配备RENISHAWPH20五轴探头系统；

4.ZygoVerifireHD激光干涉仪：波长632.8nm，重复精度＜0.5nm；

5.KeyenceLJ-V7000线激光扫描仪：Z轴分辨率0.1μm，扫描速度64kHz；

6.AliconaInfiniteFocusG5光学3D测量系统：垂直分辨率10nm；

7.HexagonAbsoluteArm7-Axis激光扫描臂：空间精度15μm；

8.NikonNEXIVVMZ-S656T影像测量仪：配备15:1变焦镜头系统；

9.RenishawREVO五轴测量系统：同步扫描速度500mm/s；

10.OptoTechASM700非接触式面形仪：测量直径Φ700mm。