检测项目
1.空位密度测定：测量范围110⁴~110⁰cm⁻，精度5%
2.晶格畸变率分析：分辨率达0.01%，重复性误差≤0.5%
3.元素偏析系数：检测限0.01wt%，空间分辨率10nm
4.析出相尺寸分布：粒径测量范围2-500nm，统计样本≥1000颗粒
5.应力场分布特征：应变灵敏度110⁻⁴，扫描步长最小0.1μm
检测范围
1.高温合金材料：镍基/钴基超合金涡轮叶片
2.半导体晶圆：硅/砷化镓单晶衬底片
3.核反应堆材料：锆合金包壳管
4.精密轴承钢：GCr15系列高碳铬钢
5.增材制造部件：钛合金SLM成型件
检测方法
1.ASTME112-13晶粒度测定标准
2.ISO14577-1仪器化压痕测试法
3.GB/T13305-2008不锈钢中α-相面积含量测定
4.ASTME1245-03自动图像分析法测定夹杂物
5.ISO19214:2017透射电镜位错密度测试规程
检测设备
1.JSM-7900F场发射扫描电镜：配备EBSD系统，空间分辨率1nm
2.TalosF200X透射电镜：STEM模式点分辨率0.16nm
3.D8ADVANCEX射线衍射仪：配备Euleriancradle测角仪
4.G200纳米压痕仪：最大载荷500mN，位移分辨率0.01nm
5.HeliosG4UX聚焦离子束：定位精度50nm，切片厚度5nm
6.OxfordInstrumentsAZtecFeature能谱系统：元素识别范围Be-Pu
7.BrukerDimensionIcon原子力显微镜：扫描范围90μm90μm10μm
8.ShimadzuEPMA-8050G电子探针：波长分辨率5eV@MnKα
9.NetzschDIL402C热膨胀仪：温度范围-150~1550℃
10.MalvernPanalyticalEmpyreanXRD平台：配置高温附件至1600℃