检测项目
1. 露点温度：测量范围-80℃至+20℃，精度±0.5℃
2. 含水量：单位ppm或mg/m³，分辨率0.1ppm
3. 氧气浓度：量程0.1ppm至21%，误差≤±2%FS
4. 颗粒物浓度：粒径0.01μm至5μm，计数效率≥99%
5. 烃类含量：C1-C6组分分析，检出限0.1ppm
检测范围
1. 工业级高纯气体（氮气/氩气/氢气）
2. 电子元件封装保护气体
3. 医药无菌包装用惰性气体
4. 压缩空气系统干燥度验证
5. 储能电池生产环境控制气体
检测方法
1. ASTM D1142-95(2021)：电解法测定露点温度
2. ISO 8573-3:2023：压缩空气含水量测试规范
3. GB/T 5832.1-2016：半导体材料用气体中微量水测定
4. ASTM E29-22：气体纯度分析的标定程序
5. GB/T 8984-2008：气体中一氧化碳等杂质测定气相色谱法
检测设备
1. Michell S8000冷镜式露点仪：量程-80~+20℃，精度±0.15℃
2. Siemens Maxum II气相色谱仪：配置TCD/FID双检测器
3. HORIBA PG-350颗粒计数器：支持0.01~5μm粒径分级
4. GE M50氧分析仪：极限灵敏度0.01ppm O₂
5. Vaisala DRYCAP® DMT340在线湿度变送器
6. Agilent 490 Micro GC：四通道快速烃类分析系统
7. Testo 645热式质量流量计：精度±1%读数+0.5%满量程
8. AMETEK 5100微量水分析仪：电解法原理
9. TSI 9306激光粒子计数器：28.3L/min采样流量
10. Servomex Xentra 4900多组分气体分析平台