检测项目

1. 空穴密度偏差值：测量单位体积内空穴数量偏差（±5%基准值）

2. 孔径分布均匀性：统计直径0.1-500μm区间内孔径占比（D10/D90≤3:1）

3. 孔隙率测定：基于ASTM B962标准测定总孔隙体积占比（精度±0.5%）

4. 渗透系数测试：依据ISO 4022测量气体渗透率（量程1×10⁻¹⁶~1×10⁻⁷ m²）

5. 三维连通性分析：采用CT扫描重建三维连通通道（分辨率≤1μm）

检测范围

1. 半导体晶圆掺杂层空穴缺陷

2. 粉末冶金烧结件闭孔结构

3. 注塑成型高分子材料微孔群

4. 陶瓷基复合材料气孔网络

5. 锂离子电池隔膜通孔结构

检测方法

ASTM B923-22《金属粉末孔隙率测试标准》

ISO 15901-2:2022《压汞法测定孔隙尺寸分布》

GB/T 24586-2021《金属多孔材料渗透性能试验方法》

ISO 18754:2020《精细陶瓷孔隙率测定》

GB/T 36165-2018《金属中气体分析方法 热导法》

检测设备

1. 蔡司Sigma 500场发射扫描电镜（分辨率0.8nm）

2. Micromeritics AutoPore V 9600压汞仪（压力413MPa）

3. Bruker SkyScan 1272微CT系统（像素尺寸0.2μm）

4. LECO ONH836氧氮氢分析仪（灵敏度0.01ppm）

5. Quantachrome NOVA 4200e比表面分析仪（孔径0.35-500nm）

6. Agilent 490 Micro GC气体渗透分析系统（载气纯度99.999%）

7. Malvern Mastersizer 3000激光粒度仪（量程0.01-3500μm）

8. Netzsch DIL 402 C热膨胀仪（升温速率0.001-50K/min）

9. Keyence VHX-7000数字显微镜（5000倍光学变焦）

10. Thermo Fisher Helios G4 UXe聚焦离子束系统（束流0.8pA-65nA）