检测项目

1. 流量精度检测：测量范围为0.1-100 L/min，误差限值≤±1.5%FS

2. 真空度稳定性测试：极限真空度≤1×10⁻⁴ Pa，波动率≤0.5%

3. 温度控制性能：工作温度范围-50℃~200℃，控温精度±0.3℃

4. 耐腐蚀性评估：在40% HNO₃溶液中连续运行240小时无泄漏

5. 密封性能验证：氦质谱检漏漏率≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s

检测范围

1. 半导体制造用高纯气体输送系统

2. 化工行业腐蚀性介质处理装置

3. 生物医药无菌环境控制系统

4. 真空镀膜设备配套抽汲单元

5. 核工业放射性物质转运装置

检测方法

ASTM E2334-22《真空系统泄漏率测试标准》

ISO 21360:2019《真空泵性能测试方法》

GB/T 13966-2020《分析仪器通用技术条件》

ISO 8573-1:2020《压缩空气污染物等级标准》

GB/T 15478-2015《压力传感器性能试验方法》

检测设备

1. Agilent 7890B气相色谱仪：气体成分定量分析（精度0.01ppm）

2. Fluke 754过程校准仪：压力/温度信号模拟与测量（精度±0.02%）

3. Leybold PHOENIX L300i氦质谱检漏仪（灵敏度1×10⁻¹² mbar·L/s）

4. MKS 925B多通道真空计（量程1×10⁻⁸~1000 Torr）

5. Endress+Hauser Promass F300质量流量计（精度±0.1%读数）

6. Thermo Scientific TSX系列高低温试验箱（-70℃~300℃）

7. Keysight 34465A数字万用表（6½位分辨率）

8. Bruker GABRIEL表面粗糙度仪（Ra测量范围0.01-50μm）

9. AMETEK JOFRA RTC-700干式温度校准炉（稳定性±0.02℃）

10. Pfeiffer Vacuum ASM 340检漏模块（响应时间＜3s）