检测项目
1. 曲率半径精度:测量范围R50-R5000mm,允许偏差±0.05%
2. 直径公差:标称直径Φ3-Φ200mm,公差等级IT6-IT8
3. 面形误差:PV值≤λ/4@632.8nm
4. 表面粗糙度:Ra≤5nm(光学级),Rz≤0.8μm(工业级)
5. 材料折射率均匀性:Δn≤±2×10⁻⁵
6. 镀膜层厚度:控制精度±1nm(AR/HR涂层)
7. 抗激光损伤阈值:LIDT≥5J/cm²@1064nm,10ns
检测范围
1. 光学玻璃平凸棒:K9、H-K9L、ZF系列等
2. 石英晶体平凸棒:JGS1/JGS2紫外级熔融石英
3. 金属合金平凸棒:6061-T6铝合金、304不锈钢
4. 红外材料平凸棒:ZnSe、Ge、Si单晶
5. 聚合物平凸棒:PMMA、PC工程塑料
6. 镀膜功能平凸棒:宽带增透膜(350-1600nm)、高反射膜(R>99.8%)
检测方法
1. ISO 10110-5:2015 光学元件面形误差干涉测量法
2. ASTM E2175-01(2021) 激光损伤阈值测试标准
3. GB/T 2831-2009 光学零件曲率半径测试方法
4. ISO 4287:1997 表面粗糙度轮廓法测量规范
5. GB/T 7962.1-2010 无色光学玻璃测试方法
6. ISO 9039:2008 光学系统成像质量MTF测试
7. ASTM B588-88(2020) 镀层厚度涡流测量法
检测设备
1. Zygo Verifire MST激光干涉仪:面形精度0.1nm RMS
2. Mitutoyo CMM-7000三坐标测量机:空间精度(1.9+L/250)μm
3. Taylor Hobson Surtronic S-100表面粗糙度仪:Ra分辨率0.8nm
4. Agilent Cary7000紫外可见近红外分光光度计:波长范围175-3300nm
5. Opto-LID激光损伤测试系统:能量密度0-50J/cm²可调
6. Olympus STM7测量显微镜:放大倍率50X-1000X
7. Renishaw inVia显微拉曼光谱仪:空间分辨率<1μm
8. Keysight E4990A阻抗分析仪:频率范围20Hz-120MHz
9. Bruker ContourGT-X3白光干涉仪:垂直分辨率0.01nm
10.Schott MPA多参数分析系统:折射率测量精度±3×10⁻⁶