检测项目

1.表面粗糙度（Ra）：测量范围0.1nm~10μm，分辨率0.01nm

2.纳米压痕硬度：载荷范围10μN~500mN，精度0.5%

3.摩擦系数动态监测：速度0.01~10mm/s，温度-50℃~300℃

4.磨痕三维形貌分析：Z轴分辨率0.1nm，扫描面积100μm100μm

5.原子层厚度损失率：精度0.3nm/cycle（循环次数≥10^6次）

检测范围

1.金属材料：铝合金、钛合金、高熵合金等

2.半导体材料：硅晶圆、GaN衬底、碳化硅基板

3.高分子材料：聚四氟乙烯（PTFE）、聚酰亚胺（PI）薄膜

4.陶瓷材料：氧化锆、氮化硅、碳化硼涂层

5.薄膜涂层：类金刚石（DLC）、磁控溅射金属薄膜

检测方法

1.ASTME2546-15：纳米压痕法测定硬度和弹性模量

2.ISO14577-1:2015：仪器化压痕试验的通用方法

3.GB/T34879-2017：微纳米尺度表面摩擦性能测试规范

4.ASTMG133-05(2016)：线性往复摩擦磨损试验标准

5.ISO21713:2020：扫描探针显微镜表面形貌分析方法

检测设备

1.BrukerDimensionIcon原子力显微镜（AFM）：支持PeakForceQNM模式纳米力学成像

2.Keysight5500扫描探针显微镜（SPM）：具备横向力显微镜（LFM）模块

3.HysitronTIPremier纳米压痕仪：最大载荷500mN，热漂移＜0.05nm/s

4.AntonPaarTRB摩擦磨损试验机：六轴力传感器精度0.1mN

5.ZygoNewView9000白光干涉仪：垂直分辨率0.1nm@50X物镜

6.CETRUMTTriboLab多功能摩擦试验机：支持真空/高温环境测试

7.OxfordInstrumentsCypherES环境控制型AFM：湿度控制范围5%~95%RH

8.NanoveaT50微划痕测试仪：载荷分辨率0.01mN，划痕速度可调范围0.001~100mm/min

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与原子磨损检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。