检测项目
1.表面粗糙度（Ra）：测量范围0.1nm~10μm，分辨率0.01nm
2.纳米压痕硬度：载荷范围10μN~500mN，精度0.5%
3.摩擦系数动态监测：速度0.01~10mm/s，温度-50℃~300℃
4.磨痕三维形貌分析：Z轴分辨率0.1nm，扫描面积100μm100μm
5.原子层厚度损失率：精度0.3nm/cycle（循环次数≥10^6次）
检测范围
1.金属材料：铝合金、钛合金、高熵合金等
2.半导体材料：硅晶圆、GaN衬底、碳化硅基板
3.高分子材料：聚四氟乙烯（PTFE）、聚酰亚胺（PI）薄膜
4.陶瓷材料：氧化锆、氮化硅、碳化硼涂层
5.薄膜涂层：类金刚石（DLC）、磁控溅射金属薄膜
检测方法
1.ASTME2546-15：纳米压痕法测定硬度和弹性模量
2.ISO14577-1:2015：仪器化压痕试验的通用方法
3.GB/T34879-2017：微纳米尺度表面摩擦性能测试规范
4.ASTMG133-05(2016)：线性往复摩擦磨损试验标准
5.ISO21713:2020：扫描探针显微镜表面形貌分析方法
检测设备
1.BrukerDimensionIcon原子力显微镜（AFM）：支持PeakForceQNM模式纳米力学成像
2.Keysight5500扫描探针显微镜（SPM）：具备横向力显微镜（LFM）模块
3.HysitronTIPremier纳米压痕仪：最大载荷500mN，热漂移＜0.05nm/s
4.AntonPaarTRB摩擦磨损试验机：六轴力传感器精度0.1mN
5.ZygoNewView9000白光干涉仪：垂直分辨率0.1nm@50X物镜
6.CETRUMTTriboLab多功能摩擦试验机：支持真空/高温环境测试
7.OxfordInstrumentsCypherES环境控制型AFM：湿度控制范围5%~95%RH
8.NanoveaT50微划痕测试仪：载荷分辨率0.01mN，划痕速度可调范围0.001~100mm/min