检测项目
1.声学传感器灵敏度：频率范围20Hz-20kHz0.5dB@1Pa声压级
2.光电探测器响应度：350-1100nm光谱范围3%线性偏差
3.振动传感器阈值灵敏度：0.01-1000Hz频段内0.1mV/(m/s)分辨率
4.磁场探头最小检出限：1nT@50Hz工频干扰抑制≥60dB
5.温度传感器分辨力：0.001K@298K基准温度0.005K稳定性
检测范围
1.金属基压电材料：锆钛酸铅(PZT-5H)、铌镁酸铅(PMN-PT)换能器
2.MEMS惯性传感器：陀螺仪角速度分辨率≥0.001/s
3.光纤布拉格光栅：应变测量精度1με@1550nm波长
4.半导体光电二极管：InGaAs探测器暗电流≤1nA@25℃
5.高温超导量子干涉器：磁场噪声≤10fT/√Hz@77K
检测方法
ASTME2307-15声学传感器动态校准标准测试规程
ISO16063-21:2003振动与冲击传感器激光干涉法校准
GB/T18313-2015电磁兼容性测量中天线校准规范
IEC60747-5-3:2020光电子器件光电参数测试方法
JJG879-2015红外辐射温度计检定规程
检测设备
1.KeysightN6705C直流电源分析仪：0.1μV/1nA分辨率测量模块
2.Brel&Kjr4221-Pistonphone：124dB@250Hz声压基准源
3.PolytecOFV-5000激光测振仪：0.02μm/s速度分辨率
4.LakeShore475DSP高斯计：1pT磁场测量精度
5.AgilentN9030B信号分析仪：26.5GHz带宽相位噪声-172dBc/Hz
6.Fluke6105A射频功率标准源：10MHz-18GHz0.3%不确定度
7.Endevco2271M冲击校准系统：10000g峰值加速度标定
8.OphirVega激光功率计：20pW-500W动态范围测量
9.TektronixAWG70000任意波形发生器：50GS/s采样率信号合成
10.NationalInstrumentsPXIe-4499动态信号采集卡：24位204.8kS/s同步采样