检测项目
1.光谱透射率:测量2.5-25μm波长范围内的透光效率(精度0.5%)
2.热膨胀系数:-50℃至300℃温度梯度下的尺寸稳定性(分辨率0.1μm/mK)
3.表面粗糙度:Ra值≤0.8nm(采用白光干涉仪测量)
4.抗激光损伤阈值:1064nm波长下≥15J/cm(依据ISO21254标准)
5.环境耐久性:85℃/85%RH湿热试验1000小时后的透射率衰减≤3%
检测范围
1.单晶硅/锗基红外光学元件
2.硫化锌(ZnS)、硒化锌(ZnSe)镀膜窗口片
3.氟化钙(CaF₂)、氟化镁(MgF₂)晶体材料
4.聚四氟乙烯(PTFE)高分子薄膜
5.金刚石复合涂层防护窗口
检测方法
ASTME275红外光谱法测定透射率(波长精度0.01μm)
ISO90311光学元件表面疵病检验规范
GB/T14148-2011光学晶体透过率测试方法
ISO10110-7光学元件气泡及杂质等级评定
GB/T13744-2017激光损伤阈值测试规程
检测设备
1.PerkinElmerFrontier傅里叶变换红外光谱仪(波长范围1.1-25μm)
2.ZygoNewView9000白光干涉仪(垂直分辨率0.1nm)
3.NetzschDIL402C热膨胀仪(温度范围-160℃~500℃)
4.ContinuumSurelite激光损伤测试系统(能量密度0-50J/cm可调)
5.ThermoScientificARLEQUINOX3000X射线衍射仪(晶格结构分析)
6.OlympusLEXTOLS5000激光共聚焦显微镜(三维形貌重建)
7.AgilentCary7000紫外-可见-近红外分光光度计(扩展至3μm波段)
8.EspecSH-642恒温恒湿箱(温控精度0.5℃)
9.BrukerContourGT-K光学轮廓仪(表面粗糙度测量)
10.Newport1918-C光功率计(响应波长范围0.19-11μm)