检测项目

1.光学表面平整度：波长λ/20精度（λ=632.8nm），PV值≤0.1μm

2.薄膜厚度均匀性：测量范围50nm-50μm，分辨率1nm

3.材料热膨胀系数：温度范围-50℃~300℃，精度0.1ppm/℃

4.机械零件平面度：最大测量直径800mm，重复性0.05μm

5.微结构三维形貌：横向分辨率0.5μm，纵向分辨率0.1nm

检测范围

1.光学玻璃：透镜、棱镜、窗口片等透射/反射元件

2.金属材料：航空铝合金、钛合金精密加工件

3.半导体晶圆：12英寸硅片表面缺陷与翘曲度

4.高分子薄膜：PET/PC基材功能性涂层厚度分布

5.陶瓷材料：氮化硅轴承球表面粗糙度Ra≤0.01μm

检测方法

1.激光斐索干涉法：ASTME2244-22标准（表面粗糙度测量）

2.白光垂直扫描法：ISO25178-604:2013（三维表面结构）

3.剪切干涉技术：GB/T1800.3-2020（几何量公差评定）

4.相移干涉测量：ISO10110-8:2020（光学元件面形）

5.全息干涉计量：GB/T34879-2017（振动模态分析）

检测设备

1.ZygoNewView9000：白光干涉仪，最大视场20mm20mm

2.TaylorHobsonTalysurfCCIHD：非接触式表面轮廓仪

3.BrukerContourGT-X3：三维光学轮廓仪，512512像素CCD

4.Keysight5529A：双频激光干涉系统，线性测量精度0.1ppm

5.MitutoyoMF-U1000H：超精密平面干涉仪，Φ300mm测量口径

6.VeecoNT9800：动态相移干涉仪，支持100Hz高速采样

7.OlympusLEXTOLS5000：激光共聚焦干涉显微镜

8.FisbaμPhase系列：光纤式微型干涉探头系统

9.NikonNEXIVVM-300S：视频测量干涉复合系统

10.PolytecMSA-600：微系统分析激光振动干涉仪