检测项目
1.非球面曲率半径误差：允许偏差0.05mm（@R=200mm基准）
2.二次曲面系数偏差：K值允差0.0003（基于ISO10110-12）
3.表面粗糙度：Ra≤0.8nm（采用0.02mm取样长度）
4.透射波前畸变：PV值≤λ/4（λ=632.8nm）
5.局部斜率误差：≤0.5μrad（空间分辨率0.5mm0.5mm）
检测范围
1.BK7/FusedSilica光学玻璃制菲涅耳透镜
2.PMMA/PC聚合物模压非球面镜片
3.铝/金镀膜红外椭圆反射镜
4.激光扩束系统用离轴抛物面镜
5.投影光刻机用高精度非球面阵列
检测方法
1.ISO10110-5:2015光学元件表面缺陷评定
2.ASTME903-12透射率光谱测试方法
3.GB/T2831-2009光学零件面形偏差检验方法
4.ISO14997:2012光学表面散射特性测试
5.GB/T25968-2010分光光度法测膜层特性
检测设备
1.ZygoVerifireHD激光干涉仪：波长632.8nm,PV测量精度λ/100
2.TaylorHobsonPGI1240轮廓仪：垂直分辨率0.1nm,Z向行程300mm
3.MitutoyoCRYSTA-ApexS574三坐标机：空间精度(1.6+L/250)μm
4.BrukerContourGT-K光学轮廓仪：20物镜,横向分辨率0.33μm
5.TriopticsOptiCentric双轴偏心仪：角度分辨率0.1arcsec
6.ShimadzuUV-3600iPlus分光光度计：波长范围185-3300nm
7.OlympusLEXTOLS5000激光显微镜：12000放大倍率
8.Keysight5500AFM原子力显微镜：Z轴噪声<0.05nmRMS
9.OptoTechASM700非接触测长仪：测量不确定度0.15μm
10.4DTechnologyPhaseCam干涉仪：动态范围150μmPV