检测项目

1.非球面曲率半径误差：允许偏差0.05mm（@R=200mm基准）

2.二次曲面系数偏差：K值允差0.0003（基于ISO10110-12）

3.表面粗糙度：Ra≤0.8nm（采用0.02mm取样长度）

4.透射波前畸变：PV值≤λ/4（λ=632.8nm）

5.局部斜率误差：≤0.5μrad（空间分辨率0.5mm0.5mm）

检测范围

1.BK7/FusedSilica光学玻璃制菲涅耳透镜

2.PMMA/PC聚合物模压非球面镜片

3.铝/金镀膜红外椭圆反射镜

4.激光扩束系统用离轴抛物面镜

5.投影光刻机用高精度非球面阵列

检测方法

1.ISO10110-5:2015光学元件表面缺陷评定

2.ASTME903-12透射率光谱测试方法

3.GB/T2831-2009光学零件面形偏差检验方法

4.ISO14997:2012光学表面散射特性测试

5.GB/T25968-2010分光光度法测膜层特性

检测设备

1.ZygoVerifireHD激光干涉仪：波长632.8nm,PV测量精度λ/100

2.TaylorHobsonPGI1240轮廓仪：垂直分辨率0.1nm,Z向行程300mm

3.MitutoyoCRYSTA-ApexS574三坐标机：空间精度(1.6+L/250)μm

4.BrukerContourGT-K光学轮廓仪：20物镜,横向分辨率0.33μm

5.TriopticsOptiCentric双轴偏心仪：角度分辨率0.1arcsec

6.ShimadzuUV-3600iPlus分光光度计：波长范围185-3300nm

7.OlympusLEXTOLS5000激光显微镜：12000放大倍率

8.Keysight5500AFM原子力显微镜：Z轴噪声<0.05nmRMS

9.OptoTechASM700非接触测长仪：测量不确定度0.15μm

10.4DTechnologyPhaseCam干涉仪：动态范围150μmPV

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与菲涅耳椭圆球体检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。