检测项目
1.输出功率稳定性:测量连续模式下功率波动范围(2%以内),采样频率≥1kHz。
2.波长准确性:中心波长偏差≤0.5nm(参考值10.6μm)。
3.光束发散角:全角测量值≤1.5mrad(基于ISO11146标准)。
4.脉冲重复频率:范围1-100kHz可调,误差≤0.1%。
5.冷却系统效能:温控精度0.5℃,流量计校准误差<3%。
检测范围
1.金属材料加工用高功率CO激光器(额定功率≥2kW)。
2.医疗美容设备配套CO激光模块(波长范围9-11μm)。
3.科研级可调谐CO激光系统(光谱分辨率≤0.01cm⁻)。
4.工业切割/焊接设备集成式CO激光源。
5.环境监测用痕量气体分析CO激光传感器。
检测方法
1.ASTME2758-18:激光功率测量不确定度评定规范
2.ISO11554:2017:光学系统光束功率密度测试方法
3.GB/T15313-2017:激光辐射功率稳定度试验规程
4.IEC60825-1:2014:激光产品安全等级分类标准
5.GB7247.1-2012:激光设备辐射安全通用要求
检测设备
1.OphirVega功率计(型号VLP-2000):量程20W-6kW,响应时间20μs
2.CoherentBeamMasterUltima:光束质量分析仪(M因子测量精度3%)
3.KeysightN7744C光波谱分析仪:波长分辨率0.01nm(10-12μm波段)
4.FlukeTi450红外热像仪:温度测量范围-20℃至1500℃
5.Newport1918-C光功率传感器:校准精度1%(中红外波段)
6.TektronixDPO7254示波器:带宽2.5GHz(脉冲波形分析)
7.Agilent34461A数字万用表:六位半精度(电参数测试)
8.ExtechHD755湿度计:露点测量范围-40℃至+60℃
9.Spectra-PhysicsLaserCheck能量计:重复性误差<0.5%
10.ThorlabsS310C光谱仪:光谱范围8-12μm(光栅型)