检测项目

1.平面度误差：测量基准平面与理想平面偏差值（0.001-0.01mm/m）

2.同轴度误差：检测回转轴线与理论轴线偏移量（0.005mm）

3.导轨直线度：评估运动导轨全行程直线偏差（≤0.015mm/1000mm）

4.轴向窜动量：测定主轴轴向位移公差（0.002mm）

5.分度台定位精度：验证旋转分度重复定位误差（1.5角秒）

检测范围

1.数控机床主轴系统及导轨组件

2.航空发动机涡轮转子装配体

3.工业机器人关节模组传动机构

4.光学仪器精密调平平台

5.半导体晶圆加工设备定位系统

检测方法

1.ISO230-2:2014机床运动轴线性定位精度检测规范

2.GB/T17421.3-2018机床圆运动测试国际标准比对法

3.ASTME2309-05激光干涉仪线性测量标准流程

4.ISO10791-7:2020五轴机床动态精度测试方法

5.GB/T11336-2021直线导轨综合精度评定规程

检测设备

1.HexagonLeitzPMM-C三坐标测量机（空间测量精度0.6+L/400μm）

2.RenishawXL-80激光干涉仪（线性分辨率0.001μm）

3.MitutoyoCrysta-ApexS轮廓仪（表面粗糙度Ra0.01μm）

4.APIXDLaser六维激光跟踪仪（角度测量精度15μm/m）

5.ZeissROTOS三维旋转测头系统（径向跳动量0.3μm）

6.Keysight5530动态校准仪（振动频率范围0-2000Hz）

7.WylerLevel电子水平仪（倾角分辨率0.001mm/m）

8.OptodyneLDDM双频激光测量系统（位移不确定度0.5ppm）

9.BlumTC52刀具测头系统（重复定位精度0.1μm）

10.NikonNEXIVVMZ-S655影像测量仪（光学放大倍率3500X）