空间相干性检测

检测项目

1.波前畸变测量：RMS值≤λ/10（λ=632.8nm），PV值≤λ/4

2.光束发散角测试：角度分辨率0.01mrad@1m测量距离

3.相位稳定性分析：长期漂移＜λ/20（24小时）

4.相干长度测定：测量范围1mm-100m（He-Ne激光源）

5.M因子计算：重复精度0.05（ISO11146标准）

检测范围

1.高反射率光学镀膜元件（HR＞99.9%）

2.半导体激光器（波长范围405-1550nm）

3.单模/保偏光纤组件（模场直径4-10μm）

4.傅里叶变换红外光谱仪干涉模块

5.空间光调制器（LCOS/DMD型）

检测方法

ASTME2382-18激光束宽度与发散角测试规范

ISO11146-1:2021激光束参数测量方法

GB/T13740-2017激光功率稳定性测试方法

ISO10110-5:2015光学元件波前公差规范

GB/T26183-2010光纤传像元件分辨率检测

检测设备

1.ZygoVerifireMST干涉仪：波长632.8nm，PV精度λ/200

2.OphirSpiriconM2-200s光束质量分析仪：M测量误差3%

3.ThorlabsBP209-IR2红外光束轮廓仪：探测范围190-1700nm

4.KeysightN9030B信号分析仪：相位噪声测量至26.5GHz

5.HamamatsuC10910D自相关仪：相干长度测量分辨率0.1μm

6.PIS-330SL干涉仪平台：定位精度0.1μm（XYZ轴）

7.NewportAGILISAG-UC8电动位移台：重复定位精度0.5μm

8.CoherentLaserCamHR远场分析系统：发散角测量精度0.05mrad

9.JenoptikTWI40波前传感器：采样频率500Hz@512512像素

10.EXFOFTB-5240S偏振分析仪：偏振消光比测量60dB动态范围