检测项目

线性精度验证：测量行程内最大允许误差(1.5+L/300)μm（L为测量长度mm）

重复性误差测试：同点连续10次测量标准差≤0.3μm

空间对角线精度：ISO10360-2标准规定最大允许误差MPEE≤(2.5+L/250)μm

测头各向异性：三维方向触发力差异≤0.05N

温度敏感性：201℃环境温度变化导致漂移量≤0.8μm/m℃

检测范围

金属加工件：轴类零件直径公差2μm；齿轮模数0.5-20mm渐开线轮廓度

注塑成型件：型腔尺寸偏差0.05mm；分型面平面度≤5μm

PCB电路板：焊盘直径Φ0.3-1.2mm；线路宽度公差10%

精密模具：型腔表面粗糙度Ra0.02-0.8μm；合模间隙≤3μm

光学元件：透镜曲率半径R0.005mm；棱镜角度偏差2"

检测方法

ASTME3066-17激光扫描仪校准规程：建立三维点云数据置信区间评估方法

ISO10360-7:2021三坐标测量机验收检测：包含21项性能测试程序

GB/T21389-2008游标卡尺检定规程：刀口内量爪平行度≤0.01mm

JJG146-2011量块检定规程：4等量块中心长度偏差≤(0.20+0.5L)μm

ASMEB89.4.22-2004激光跟踪仪校准规范：角度测量不确定度≤15ppm

检测设备

MitutoyoLH-600三坐标测量机：最大量程600800500mm，空间精度1.8+L/300μm

HexagonAbsoluteArm7轴测量臂：接触式测头重复性0.028mm（2σ）

ZygoNewView9000白光干涉仪：垂直分辨率0.1nm，横向分辨率0.35μm

RenishawXL-80激光干涉仪：线性测量精度0.5ppm（20℃环境）

KeyenceLM-9000系列影像仪：双远心镜头畸变率＜0.03%，XY重复精度0.3μm

TESAMicro-Hite3D高度规：Z轴分辨率0.01μm，最大承载25kg

JenoptikO-INSPECT322复合式测量机：光学+接触式混合测量系统

CMMVision四轴联动扫描系统：配备500万像素CCD及蓝光LED光源

APIRadian激光跟踪仪：最大测距80m，动态角度误差15μm/m

TaylorHobsonTalyrond585圆度仪：主轴径向误差运动≤0.025μm