检测项目

线宽精度：测量范围0.1-5.0mm，公差±0.02mm

线间距均匀性：检测间距0.05-3.0mm，允许偏差≤±5%

剖面深度：检测深度0.01-2.5mm，分辨率0.001mm

角度偏差：测量范围0-180°，精度±0.1°

表面粗糙度：Ra值检测范围0.05-6.3μm

边缘直线度：最大允许偏差0.03mm/m

位置精度：坐标定位误差≤±0.01mm

检测范围

金属材料：汽车零部件、航空结构件、模具型腔

复合材料：碳纤维层压板、陶瓷基复合材料

电子元件：PCB线路板、芯片封装结构

塑料制品：注塑成型件、精密齿轮

陶瓷材料：半导体晶圆、光学元件刻线

检测方法

ASTM E112：金相试样线距测定标准

ISO 4287：表面粗糙度轮廓法测量

GB/T 11336：直线度误差检测规范

ISO 1101：几何公差标注与验证

GB/T 1958：产品几何量技术规范（GPS）

ASTM B748：扫描电镜线宽测量方法

ISO 25178：非接触式三维表面测量

检测设备

三维激光扫描仪：KEYENCE VR-3200，采样率0.5μm

金相显微镜：Olympus BX53M，最大放大倍数1500×

轮廓投影仪：Nikon V-12B，测量精度±1μm

白光干涉仪：Zygo NewView 9000，垂直分辨率0.1nm

坐标测量机：Hexagon Global S 7.10.7，空间精度1.9μm+L/250

扫描电镜：Hitachi SU5000，分辨率1.0nm@15kV

表面粗糙度仪：Mitutoyo SJ-410，测力0.75mN