检测项目

线宽偏差检测：测量实际线宽与设计值的差异，精度要求±0.02μm

曲率半径测定：检测微米级弧线的曲率稳定性，范围0.05-5.00mm

表面粗糙度分析：Ra值检测范围0.001-0.1μm，采样长度4mm

直线度误差检测：每100mm长度允许偏差≤1.5μm

断裂强度测试：加载速率0.5mm/min，记录最大断裂载荷值

检测范围

高精度金属合金导线（铜银复合线材）

微电子封装用高分子薄膜线路

半导体晶圆光刻线路层

光学玻璃衍射光栅

碳纤维复合材料增强层

检测方法

ASTM E112-13 晶粒度测定法（金属材料奇线分析）

ISO 4287:1997 几何产品规范(GPS)表面结构：轮廓法

GB/T 1800.2-2020 产品几何技术规范(GPS)线性尺寸公差

ASTM D3359-17 胶带法附着力测试（涂层线路适用）

GB/T 1040.1-2018 塑料拉伸性能试验方法

检测设备

Keyence VK-X1000 3D激光显微镜：实现0.1nm级线宽测量与三维形貌重建

Mitutoyo Crysta-Apex S 三坐标测量机：空间定位精度±0.3μm，支持复杂曲面检测

Bruker ContourGT-K 光学轮廓仪：0.1Å垂直分辨率，检测表面粗糙度及微观缺陷

Instron 5969 万能材料试验机：0.5级载荷精度，配备100N微型载荷传感器

Olympus DSX1000 数码显微镜：20-7000倍连续变倍，内置景深扩展功能