检测项目

重复性误差：0.002mm@20℃恒温环境

线性度误差：≤0.05%FS（满量程）

迟滞误差：1.5μm/10N载荷循环

温度漂移系数：0.0015%/℃（-10℃~50℃）

动态响应误差：3σ≤0.8%@100Hz采样频率

检测范围

金属材料：钛合金/铝合金/不锈钢精密加工件

电子元件：MEMS传感器/高精度电阻/晶振器件

光学器件：激光干涉仪棱镜/光纤连接器端面

量具仪表：千分尺/压力变送器/数显扭矩扳手

复合材料：碳纤维层压板/陶瓷基封装外壳

检测方法

ASTME2309-05(2020)：静态线性误差校准规程

ISO/IEC17025:2017：测量不确定度评定方法

GB/T1800.1-2020：极限与配合基础规范

ISO5725-2:2019：测量方法与结果的准确度验证

GB/T16857.6-2017：坐标测量机动态性能测试

检测设备

三坐标测量机MitutoyoCRYSTA-ApexS：空间精度(1.8+L/250)μm

激光干涉仪RenishawXL-80：线性测量分辨率0.001μm

万能试验机Instron5982：载荷精度0.5%示值@1N-100kN

高低温试验箱ESPECSH-642：温控波动度0.3℃(-70℃~150℃)

动态信号分析仪Brel&Kjr3560-C：频率范围0.1Hz-25.6kHz

表面轮廓仪TaylorHobsonFormTalysurfi120：垂直分辨率0.8nm

六维力传感器ATIOmega160：各向间耦合误差≤1.2%

恒流源KeysightB2901A：电流输出稳定性10ppm/℃

振动校准系统PCB394C06：加速度计灵敏度校准0.5dB

数字示波器TektronixMSO64B：12bitADC@6.25GS/s采样率