物端光栅检测

检测项目

1.线密度检测：测量范围50-6000线/mm，误差≤0.05线/mm

2.周期精度分析：周期尺寸10nm-50μm范围内重复性误差≤0.8nm

3.槽深均匀性测试：深度测量分辨率达0.1nm

4.表面粗糙度评估：Ra值检测范围0.1-100nm

5.衍射效率验证：波长覆盖200-2000nm波段效率偏差≤1.5%

检测范围

1.光学玻璃基底全息光栅

2.半导体晶圆刻蚀衍射光栅

3.金属薄膜反射式脉冲压缩光栅

4.聚合物柔性微纳结构光栅

5.石英基板透射式计量光栅

检测方法

ASTME284-17光学表面结构表征标准

ISO10110-8:2020光学元件表面缺陷评定规范

GB/T9247-2008计量光栅通用技术条件

ISO14999-4:2015光学元件相位测量干涉法

GB/T13323-2009光学零件表面粗糙度测试方法

检测设备

1.ZygoNewView9000白光干涉仪：三维形貌分析精度0.1nm

2.VeecoNT9800原子力显微镜：横向分辨率1nm级槽形测量

3.RenishawXL-80激光干涉仪：线性位移测量精度0.5ppm

4.KeyenceLS-9000激光位移计：非接触式厚度测量分辨率10nm

5.MitutoyoCMM-CrystaPlusM574坐标测量机：空间定位精度0.6+L/400μm

6.BrukerContourGT-K光学轮廓仪：台阶高度重复性0.01nm

7.ShimadzuXRD-7000X射线衍射仪：晶格常数测定精度0.0001nm

8.OceanInsightQEPro光谱仪：波长分辨率0.1nm级效率测试

9.ZeissAxioCSM700共聚焦显微镜：三维重构误差＜2%

10.Agilent5500扫描探针显微镜：原子级表面形貌表征能力

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"物端光栅检测"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检检测技术研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。