检测项目
1.线密度检测：测量范围50-6000线/mm，误差≤0.05线/mm
2.周期精度分析：周期尺寸10nm-50μm范围内重复性误差≤0.8nm
3.槽深均匀性测试：深度测量分辨率达0.1nm
4.表面粗糙度评估：Ra值检测范围0.1-100nm
5.衍射效率验证：波长覆盖200-2000nm波段效率偏差≤1.5%
检测范围
1.光学玻璃基底全息光栅
2.半导体晶圆刻蚀衍射光栅
3.金属薄膜反射式脉冲压缩光栅
4.聚合物柔性微纳结构光栅
5.石英基板透射式计量光栅
检测方法
ASTME284-17光学表面结构表征标准
ISO10110-8:2020光学元件表面缺陷评定规范
GB/T9247-2008计量光栅通用技术条件
ISO14999-4:2015光学元件相位测量干涉法
GB/T13323-2009光学零件表面粗糙度测试方法
检测设备
1.ZygoNewView9000白光干涉仪：三维形貌分析精度0.1nm
2.VeecoNT9800原子力显微镜：横向分辨率1nm级槽形测量
3.RenishawXL-80激光干涉仪：线性位移测量精度0.5ppm
4.KeyenceLS-9000激光位移计：非接触式厚度测量分辨率10nm
5.MitutoyoCMM-CrystaPlusM574坐标测量机：空间定位精度0.6+L/400μm
6.BrukerContourGT-K光学轮廓仪：台阶高度重复性0.01nm
7.ShimadzuXRD-7000X射线衍射仪：晶格常数测定精度0.0001nm
8.OceanInsightQEPro光谱仪：波长分辨率0.1nm级效率测试
9.ZeissAxioCSM700共聚焦显微镜：三维重构误差＜2%
10.Agilent5500扫描探针显微镜：原子级表面形貌表征能力