检测项目
1.线密度精度：测量每毫米刻线数偏差（0.5lines/mm）
2.衍射效率均匀性：全视场范围内效率波动≤3%
3.基片平整度：PV值≤0.1μm（@632.8nm）
4.槽形对称度：侧壁角偏差≤0.5
5.环境稳定性：温度循环（-40℃~85℃）后形变≤50nm
检测范围
1.光学玻璃基片面光栅（K9、熔石英材质）
2.聚合物薄膜光栅（PET、PC基底）
3.金属镀层光栅（铝膜、金膜反射式）
4.全息记录光栅（重铬酸盐明胶体系）
5.纳米压印光栅（周期200-1000nm）
检测方法
ASTME2867-19衍射效率测试规范
ISO10110-5表面形貌公差标注标准
GB/T13334-2018光栅线密度校准规程
ISO14999-4光学元件波前畸变测试
GB/T26331-2010光学薄膜环境试验方法
检测设备
ZygoVerifireHDX激光干涉仪：基片平整度测量（λ/100精度）
BrukerContourElite白光干涉仪：表面粗糙度分析（0.1nm分辨率）
ShimadzuAIM-9000红外显微镜：薄膜附着力无损检测
OceanInsightQEPro光谱仪：衍射效率定量分析（350-1100nm）
RenishawinVia显微拉曼系统：材料应力分布测试
KeyenceVHX-7000数字显微镜：微结构三维重建（5000倍放大）
AgilentCary7000全能型分光光度计：偏振特性分析
TescanMira3SEM扫描电镜：纳米级槽形表征（5nm分辨率）
EspecPL-3J恒温恒湿箱：环境可靠性试验（0.5℃控温）
TriopticsMTF测量仪：调制传递函数测试（符合ISO12233标准）