检测项目

1.线密度精度：测量每毫米刻线数偏差（0.5lines/mm）

2.衍射效率均匀性：全视场范围内效率波动≤3%

3.基片平整度：PV值≤0.1μm（@632.8nm）

4.槽形对称度：侧壁角偏差≤0.5

5.环境稳定性：温度循环（-40℃~85℃）后形变≤50nm

检测范围

1.光学玻璃基片面光栅（K9、熔石英材质）

2.聚合物薄膜光栅（PET、PC基底）

3.金属镀层光栅（铝膜、金膜反射式）

4.全息记录光栅（重铬酸盐明胶体系）

5.纳米压印光栅（周期200-1000nm）

检测方法

ASTME2867-19衍射效率测试规范

ISO10110-5表面形貌公差标注标准

GB/T13334-2018光栅线密度校准规程

ISO14999-4光学元件波前畸变测试

GB/T26331-2010光学薄膜环境试验方法

检测设备

ZygoVerifireHDX激光干涉仪：基片平整度测量（λ/100精度）

BrukerContourElite白光干涉仪：表面粗糙度分析（0.1nm分辨率）

ShimadzuAIM-9000红外显微镜：薄膜附着力无损检测

OceanInsightQEPro光谱仪：衍射效率定量分析（350-1100nm）

RenishawinVia显微拉曼系统：材料应力分布测试

KeyenceVHX-7000数字显微镜：微结构三维重建（5000倍放大）

AgilentCary7000全能型分光光度计：偏振特性分析

TescanMira3SEM扫描电镜：纳米级槽形表征（5nm分辨率）

EspecPL-3J恒温恒湿箱：环境可靠性试验（0.5℃控温）

TriopticsMTF测量仪：调制传递函数测试（符合ISO12233标准）