检测项目

悬浮粒子浓度：依据ISO14644-1分级（Class1至Class9），粒径范围覆盖0.1μm至5.0μm

微生物限度：浮游菌≤1CFU/m（ISO14698-1），沉降菌≤0.5CFU/皿（GB/T16294）

压差梯度：相邻区域压差≥5Pa（GB50457），生物安全实验室压差≥10Pa

温湿度控制：温度20-24℃（2℃），相对湿度45%-60%（5%）

风速均匀性：单向流洁净室风速0.450.1m/s（ISO14644-3）

检测范围

高效空气过滤器（HEPA/ULPA）：MPPS效率≥99.99%（EN1822）

洁净室专用建材：防静电环氧树脂地板表面电阻110^6~110^9Ω

无尘服装系统：IEST-RP-CC003.4标准下颗粒释放量≤3,500个/分钟

消毒剂残留量：过氧化氢≤1ppm，季铵盐类≤0.5mg/m

工艺设备部件：风淋室喷嘴风速≥20m/s（GB/T14294）

检测方法

ASTMF51-00(2021)：微电子行业洁净室悬浮粒子计数法

ISO14644-3:2019：洁净室综合性能测试与监测规范

GB/T25915.1-2021：洁净室及相关受控环境国际标准应用指南

ENISO14698-2:2003：生物污染控制系统的监测要求

GB/T16292-2010：医药工业悬浮粒子测试方法

检测设备

MetOne3400+激光粒子计数器：0.3~10μm六通道同步监测，流量28.3L/min

SartoriusMD8空气采样器：浮游菌采集流量50L/min，符合ISO14698标准

TSI8380风速计：量程0~30m/s，精度2%读数+0.01m/s

Testo480多功能测量仪：同步监测温湿度/压差/CO2/光照度参数

PMSLPC-503手持式计数器：支持0.5/5.0μm双粒径实时显示

EMTEKEMF-800风量罩：测量范围85~4250m/h，精度3%FS

VaisalaHMT333温湿度变送器：温度精度0.1℃，湿度0.8%RH

ATIQ32气溶胶发生器：PAO/DOP多浓度发生模式