检测项目

极限真空度：测量系统可达到的最低压力值（110⁻⁴Pa至110⁻⁹Pa）

泄漏率测试：氦质谱法测定漏率（≤110⁻Pam/s）

抽气速率验证：计算单位时间气体排出量（0.1-10000L/s）

残余气体分析：四极质谱仪监测气体成分（H₂O、N₂、O₂分压比）

真空维持度：24小时压力回升值（ΔP≤5%）

检测范围

半导体晶圆加工设备腔体及真空传输模块

航天器推进系统燃料贮箱与密封舱段

高能物理实验用粒子加速器真空管道

医用直线加速器治疗舱真空绝缘系统

真空镀膜机磁控溅射腔体组件

检测方法

ASTME493-22静态升压法测定系统总漏率

ISO3567:2021真空容器泄漏测试通用规范

GB/T32218-2015真空技术术语与定义

ASTMF2391-05(2020)包装件氦泄漏测试标准

GB/T34325-2017真空绝热板导热系数测定方法

检测设备

PfeifferASM390T氦质谱检漏仪（灵敏度110⁻Pam/s）

Agilent5977BMSD四极杆质谱分析系统（1-300amu质量范围）

EdwardsSTP-A4503涡轮分子泵组（抽速450L/s）

INFICONCDG025D电容薄膜规（量程110⁻⁴至1000Torr）

LeyboldCTR90冷阴极电离规（测量下限510⁻⁰mbar）

MKS925B微差压传感器（分辨率0.001%FS）

UlvacGP-200全自动真空校准系统（标准漏孔法校准）

KurtJ.LeskerATS系列残余气体分析工作站（带数据采集模块）

Varian944-0013电离规控制器（多通道规管管理）

HuntingdonPTM900压力衰减测试仪（0.05%读数精度）