检测项目

1.静态承载能力测试：最大载荷≥50kN，变形量≤0.05mm

2.气膜厚度均匀性检测：公差范围3μm（@0.3MPa供气压力）

3.气体泄漏率测定：标准工况下泄漏量≤0.15L/minm

4.振动特性分析：轴向振幅≤5μm（20-2000Hz频段）

5.材料表面硬度测试：HV≥800（陶瓷涂层），HRC≥58（金属基体）

检测范围

1.金属基复合材料气垫轴承（铝/钛合金基体）

2.高分子聚合物多孔质轴承（PTFE/PEEK材质）

3.陶瓷涂层气浮轴承（Al₂O₃/SiC涂层）

4.精密机床主轴用空气静压轴承

5.半导体光刻机专用真空预载气垫轴承

检测方法

ASTMD4172-94(2020)滑动轴承加速磨损试验规范

ISO1217:2009容积式压缩机验收试验

GB/T2889.1-2014滑动轴承术语、定义和分类

GB/T18325.1-2019滑动轴承流体动压径向滑动轴承试验方法

ISO4378-1:2017滑动轴承材料摩擦系数测定方法

检测设备

1.MitutoyoCMMCrysta-ApexS：三维形位公差测量（精度0.8+L/600μm）

2.BrukerContourGT-X3：白光干涉仪表面粗糙度分析（垂直分辨率0.1nm）

3.Kistler5073A三向测力仪：动态载荷测量（量程5kN，频响10kHz）

4.PolytecPSV-500激光测振仪：非接触式振动测量（分辨率0.02μm）

5.Agilent490MicroGC：氦气质谱检漏仪（灵敏度110⁻⁸Pam/s）

6.Instron8862疲劳试验机：轴向动态加载测试（最大载荷100kN）

7.TaylorHobsonFormTalysurfi-Series：表面轮廓仪（测量速度500mm/s）

8.FLIRSC7000红外热像仪：温度场分布监测（热灵敏度20mK）

9.KeyenceVHX-7000数字显微镜：微观结构观测（放大倍率6000）

10.AMETEKJOFRACPC8000压力校准器：气压稳定性测试（精度0.01%FS）