精密设备检测

检测项目

1.几何尺寸精度：测量线性尺寸（0.1μm）、圆度（≤0.5μm）、平面度（≤1μm/m）

2.表面粗糙度：Ra值（0.01-6.3μm）、Rz值（0.05-25μm）及波纹度分析

3.材料硬度：维氏硬度（HV50-2000）、洛氏硬度（HRC20-70）测试

4.动态性能：振动频率（5Hz-20kHz）、位移振幅（0.1-500μm）监测

5.电气特性：绝缘电阻（≥10GΩ@500VDC）、耐压强度（AC3kV-15kV/1min）

检测范围

1.高精度金属部件：钛合金航空零件、超硬合金刀具

2.半导体元件：硅晶圆（φ200-450mm）、光刻掩膜版

3.光学器件：非球面透镜（λ/10面型精度）、激光反射镜

4.精密轴承：P4/P2级角接触轴承、陶瓷混合轴承

5.医疗设备：手术机器人传动部件、植入物表面涂层

检测方法

1.ISO10360-2:2009三坐标测量机验收标准

2.ASTME384-22材料显微硬度测试规范

3.GB/T6060.2-2006表面粗糙度比较样块检定规程

4.IEC61010-1:2010电气安全通用要求

5.JISB7021:2013精密时计用轴承振动测试方法

检测设备

1.MitutoyoCRYSTA-ApexS三坐标测量机：空间测量精度(1.9+L/250)μm

2.TaylorHobsonFormTalysurfi系列轮廓仪：垂直分辨率0.8nm

3.ZEISSAxioImagerM2m金相显微镜：1500光学放大倍率

4.BrukerContourGT-X3白光干涉仪：0.1垂直分辨率

5.Keysight34972A数据采集系统：6位数字精度

6.PolytecPSV-500扫描式激光测振仪：0.02μm/s振动灵敏度

7.Instron6800系列万能试验机：载荷精度0.5%示值

8.Agilent4294A精密阻抗分析仪：40Hz-110MHz测试带宽

9.Fluke8588A参考级万用表：8位分辨率

10.OGPSmartScopeZIP250影像测量系统：多传感器复合测量系统

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"精密设备检测"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。