检测项目
1.S参数测试:频率范围1-40GHz,测量输入/输出反射系数(S11/S22)及传输系数(S21/S12)
2.噪声系数测试:频率覆盖0.5-18GHz,测量最小噪声系数(NFmin)及等效噪声电阻
3.功率特性测试:包括1dB压缩点(P1dB)、饱和输出功率(Psat),最大输入功率≤30dBm
4.热阻测试:结温测量精度0.5℃,计算热阻Rth(j-c)值
5.可靠性试验:高温反偏试验(175℃/1000h)、温度循环(-55℃~150℃/1000次)
检测范围
1.GaAs基场效应晶体管(FET):适用于X波段雷达发射模块
2.GaNHEMT晶体管:工作频率覆盖L至Ka波段的大功率器件
3.SiGe异质结双极晶体管(HBT):毫米波通信前端低噪声器件
4.LDMOS射频功率管:基站功放用UHF频段器件
5.微波封装器件:QFN、陶瓷扁平封装等表贴型晶体管
检测方法
1.IEC60749-25:2018半导体器件机械与气候试验方法
2.GB/T4587-1994双极型晶体管测试方法
3.MIL-STD-750F电子器件环境试验方法
4.JEDECJESD51-14瞬态热特性测试规范
5.ASTMF1249-20微波晶体管噪声参数测量标准
检测设备
1.KeysightPNA-XN5247B矢量网络分析仪:频率范围10MHz-43.5GHz,S参数测试精度0.05dB
2.KeysightN8975B噪声系数分析仪:频率范围10MHz-26.5GHz,不确定度≤0.15dB
3.TektronixPA3000功率分析仪:最大输入功率40dBm,谐波测量至10次
4.ThermoScientificT3Ster瞬态热阻测试系统:时间分辨率10μs,结温测量精度0.3℃
5.ESPECPL-3KPH温度循环箱:温变速率15℃/min,温度范围-70℃~180℃
6.AgilentB1505A功率器件分析仪:最大电压/电流3000V/1500A
7.Rohde&SchwarzFSW67信号分析仪:分析带宽510MHz,相位噪声-137dBc/Hz@10kHz
8.CascadeSummit12000探针台:支持12英寸晶圆测试,定位精度0.5μm
9.Fluke6100B热电偶校准系统:温度校准范围-200℃~1200℃
10.AnritsuMG3710E模拟信号发生器:输出频率最高70GHz,相位噪声≤-110dBc/Hz@10kHz偏移