检测项目
1.表面反射率：测量波长范围400-1600nm内反射率≥98.5%，允许偏差0.3%
2.表面粗糙度：Ra≤0.01μm（10nm），采用白光干涉法进行三维形貌分析
3.角度偏差：直角棱镜903"，五棱镜455"，使用自准直仪配合分光计测量
4.面形精度：PV值≤λ/10（@632.8nm），局部斜率误差＜0.5μrad
5.镀膜均匀性：膜层厚度公差2%，折射率波动≤0.5%
6.抗激光损伤阈值：1064nm波长下≥5J/cm（20ns脉宽）
检测范围
1.光学玻璃棱镜：包括BK7、熔融石英等材质直角棱镜/五棱镜
2.红外晶体棱镜：ZnSe、Ge等材料的中远红外波段棱镜
3.金属镀膜棱镜：铝/银/金镀膜增强型反射器件
4.聚合物光学棱镜：PMMA/PC材质轻量化光学元件
5.复合镀膜棱镜：宽带增透/高反膜系组合器件
6.微结构棱镜阵列：周期＜100μm的微型光学组件
检测方法
1.ASTME903-20《材料光谱反射率标准测试方法》
2.ISO10110-5:2015《光学元件表面缺陷验收规范》
3.GB/T7661-2009《光学零件表面粗糙度测试方法》
4.ISO14997:2012《光学元件激光损伤阈值测定》
5.GB/T12085.4-2010《光学系统环境试验方法表面精度》
6.DIN3140-7:2018《棱镜角度公差与检验规范》
检测设备
1.ZygoGPIXP/D激光干涉仪：波长632.8nm，PV测量精度λ/1000
2.BrukerContourElite白光干涉仪：垂直分辨率0.1nm，扫描速度50μm/s
3.TriopticsAutocollimatorAC7000：角度分辨率0.1"，测量范围1000"
4.AgilentCary7000紫外可见近红外分光光度计：波长范围175-3300nm
5.OptoTestOPCT-2000透反测试系统：入射角调节精度0.01
6.PrimesMicroSpotMonitor激光损伤测试仪：光斑直径50-500μm可调
7.MitutoyoSJ-410轮廓仪：探针半径2μm，Z轴分辨率10nm
8.Newport1918-R功率计：测量范围10nW-3W，响应波长190-11000nm
9.ThorlabsPAX1000偏振分析仪：消光比测量精度0.05dB
10.KeysightN7788B光波元件分析仪：光谱分辨率0.01pm