检测项目
1.剩余极化强度(Pr)：测量范围50μC/cm，精度0.5μC/cm
2.矫顽场强(Ec)：测试电压范围200V/μm，分辨率0.1V/μm
3.介电常数(εr)：频率范围20Hz-10MHz，温度范围-50℃~200℃
4.漏电流密度(J)：灵敏度1pA/cm@25℃，最大场强150kV/cm
5.疲劳特性：循环次数10^4~10^9次，极化衰减率监测精度0.1%
6.响应时间(τ)：时间分辨率10ns，驱动电压15V
7.居里温度(Tc)：DSC法测定精度0.5℃，温度梯度≤2℃/min
检测范围
1.PZT系铁电薄膜：厚度50nm-5μm的锆钛酸铅薄膜器件
2.BST陶瓷基板：钡锶钛酸盐陶瓷基板（直径≤200mm）
3.PVDF-TrFE共聚物：厚度10-200μm的柔性聚合物薄膜
4.FRAM存储器：128kb-1Gb容量铁电随机存储器芯片
5.透明铁电器件：ITO电极氧化铪基透明显示器组件
6.纳米线阵列：直径50-200nm的BFO纳米线器件
检测方法
1.ASTMD150-18介电常数测试：平行板电容法测量介电损耗
2.IEC60093:1980体积电阻率测试：三电极系统恒压法
3.GB/T22319-2008铁电薄膜测试：Sawyer-Tower电路迟滞回线法
4.ISO21748:2017测量不确定度评定：蒙特卡洛法误差分析
5.JISC2139-2011高温介电测试：管式炉联用阻抗分析仪
6.GB/T31845-2015铁电器件疲劳测试：方波脉冲序列加载法
检测设备
1.Keithley4200-SCS半导体分析仪：支持DC-1MHz频率的铁电极化曲线测量
2.Agilent4294A阻抗分析仪：40Hz-110MHz宽频介电谱分析系统
3.RadiantPrecisionPremierII铁电测试系统：最大电压400V的迟滞回线测量模块
4.NetzschDSC214Polyma差示扫描量热仪：居里温度测定分辨率0.1℃
5.OxfordInstrumentsCryostat低温探针台：-269℃~300℃变温测试平台
6.BrukerD8ADVANCEX射线衍射仪：θ-2θ扫描分析晶体结构相变
7.KeysightB1500A波形发生器：100ns上升时间的快速响应测试模块
8.HitachiSU8010场发射电镜：5nm分辨率断面形貌观测系统
9.LinkamTS1500热台：配合光学显微镜进行原位畴结构观察
10.GamryReference3000电化学工作站：皮安级漏电流测试系统