检测项目
1.霍尔系数测量:测量范围110⁻⁰至110⁻m/C,精度2%
2.载流子浓度分析:分辨率110⁴cm⁻至110⁰cm⁻
3.迁移率测试:覆盖10⁻至10⁶cm/(Vs)量程
4.电阻率测定:量程110⁻⁶至110⁴Ωcm
5.磁滞特性表征:磁场强度0-2T可调
检测范围
1.半导体材料:单晶硅/锗片、III-V族化合物半导体
2.磁性材料:铁氧体、钕铁硼永磁体
3.电子元件:霍尔传感器、磁阻器件
4.光伏材料:薄膜太阳能电池层状结构
5.纳米材料:石墨烯/碳纳米管复合导电薄膜
检测方法
ASTMF76-08(2016):半导体材料霍尔效应测试标准方法
ISO14707:2020表面化学分析-辉光放电光谱法
GB/T1550-2018半导体单晶导电类型测试方法
GB/T13301-2019金属材料电阻系数测量方法
IEC60404-13:2018磁性材料测量方法
检测设备
LakeShore8404系列霍尔测量系统:支持0.3K-1273K宽温区测试
KeysightB2902A精密源表:最小电流分辨率0.1fA
OxfordInstrumentsTeslatronPT低温磁体:最大磁场强度16T
Keithley2450源测量单元:支持四探针法电阻率测试
QuantumDesignPPMSDynaCool:综合物性测量系统
Agilent4155C半导体参数分析仪:支持高频CV特性测试
JandelRM3000测试台:配备四轴可调探针台
BrukerMMS-EV7振动样品磁强计:磁滞回线测量精度0.5%
TektronixDMM4040六位半数字万用表:基本DCV精度0.0024%
CryomagneticsSH-100超导磁体系统:零挥发液氦闭环系统