检测项目

平面度误差：测量表面与理想平面的最大偏离值（≤0.005mm/m）

X/Y轴定位精度：线性位移偏差量（1.5μm/300mm）

重复定位精度：连续运动位置复现性（≤0.8μm）

正交度误差：坐标系轴向垂直度偏差（≤3″）

原点复位精度：基准点回归偏差（≤0.5μm）

检测范围

机械制造：数控机床导轨、精密平台基面

电子元件：PCB板焊盘阵列、半导体晶圆载具

航空航天：发动机叶片安装基座、卫星支架组件

光学仪器：透镜安装法兰面、激光发射器基台

汽车部件：变速箱壳体结合面、电驱系统定位销孔

检测方法

ASTME289-04：采用激光干涉仪进行几何量测量

ISO230-2:2014：数控机床线性轴位置精度评定

GB/T17421.2-2016：坐标测量机性能验收规范

ASMEB89.3.7-2013：平面度误差评定算法

JJF1091-2018：三坐标测量机校准规范

检测设备

HexagonGlobalS12.22.10三坐标测量机：配备TP200探头系统（分辨率0.1μm）

RenishawXL-80激光干涉仪：线性测量精度0.5ppm

MitutoyoCrysta-ApexS574：接触式轮廓仪（量程500μm）

KeyenceLM-9000系列光栅尺系统（分辨率1nm）

ZeissACCURA9/12/7桥式测量机（空间精度1.9+L/250μm）

Agilent5530动态校准仪：6自由度误差补偿系统

NikonNEXIVVMZ-S656T视频测量系统（光学放大倍率350X）

WylerZerotronic电子水平仪（角度分辨率0.001）

SylvacS_Dial系列数显千分表（量程25mm/分度值0.1μm）

APIXDLaser六维激光跟踪仪（测距精度10μm+5ppm）