可送检的样品类型与对应检测项目

样品类型 典型应用场景 主要检测项目 常用方法 / 参考
无尘擦拭布（聚酯针织超细纤维） 半导体晶圆、光罩、液晶面板与精密光学件擦拭 液体颗粒释放量、残余颗粒物重量、耐磨发尘、吸液量、不可萃取物 IEST-RP-CC004推荐实施程序；激光液体颗粒计数法；滤膜抽滤称重法
无尘手套（丁腈、乳胶、聚氯乙烯） 晶圆操作、生物医药灌装、精密电子组装 颗粒释放量、可萃取物、针孔密封性、表面离子污染 IEST-RP-CC005推荐实施程序；洁净水浸提颗粒计数
洁净服系统（连体服、帽、靴套） 五级至八级洁净区人员着装与更衣验证 滚筒发尘量、面料过滤效率、接缝泄漏、反复洗涤后发尘变化 IEST-RP-CC003推荐实施程序；滚筒发尘试验
无尘纸与无尘抹布（木浆涤纶混纺） 一般洁净区设备台面与工装夹具擦拭 颗粒释放量、掉纤量、吸液速率、湿态强度 液体浸提颗粒计数法；纤维显微计数
粘尘垫与粘尘滚筒（聚乙烯涂层） 人流物流缓冲区入口、地面除尘 颗粒转移量、粘着力保持率、层间均匀性 标准尘负荷转移称重法结合颗粒计数
洁净包装材料（洁净袋、防静电屏蔽袋） 洁净耗材、晶圆与精密部件包装转运 颗粒释放量、发尘性、静电衰减、热封强度 GB/T 25915.1环境模拟舱法；摩擦电压测试
洁净室工器具器皿（不锈钢、聚丙烯） 洁净室内托盘、镊子、器皿与工位器具 表面颗粒污染、擦拭发尘、洁净验证 表面擦拭采样试验；淋洗液颗粒计数

检测项目

1. 液体颗粒释放量：受检粒径覆盖0.2至5微米多通道计数，擦拭布按每平方分米面积折算，结果在数十万至数千万颗粒每平方分米区间分级判定

2. 残余颗粒物重量：经0.45微米滤膜抽滤截留后称重，控制指标常用每片0.2至2毫克，评价材料本体掉粉水平

3. 滚筒发尘量：统计粒径不小于0.3微米颗粒，按每分钟颗粒数分级，分级限值覆盖每分钟100颗粒至10000颗粒区间

4. 气流扰动发尘量：在断面风速0.45米每秒垂直层流条件下测定颗粒浓度增量，以个每立方米计，并与GB/T 25915.1各级限值比对

5. 摩擦弯曲发尘量：往复弯曲3000至10000次后复测颗粒释放，增量不超过初始值1.5倍为常见验收线

6. 掉纤量与纤维计数：以显微图像法统计长度大于100微米纤维根数，擦拭布每平方分米通常不大于10根

检测范围

1. 无尘擦拭布：聚酯针织超细纤维布、涤锦复合擦拭布，规格15乘15厘米至23乘23厘米

2. 无尘手套：丁腈无尘手套、天然乳胶无尘手套、聚氯乙烯无尘手套，掌厚0.08至0.20毫米

3. 洁净服：五级、六级、七级用涤纶长丝高密度织物连体服，含导电纤维网格面料

4. 无尘纸与无尘抹布：木浆涤纶混纺材料、熔喷聚丙烯吸液材料，克重40至120克每平方米

5. 洁净包装耗材：洁净聚乙烯袋、防静电屏蔽袋、粘尘垫、粘尘滚筒与晶圆包装盒

检测方法

1. GB/T 25915.1-2021 洁净室及相关受控环境 第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级，用于气流扰动发尘结果比对

2. IEST-RP-CC004.3 洁净擦拭布性能评价推荐实施程序，规定干湿态颗粒释放试验与浸提程序

3. IEST-RP-CC005.4 洁净手套评价推荐实施程序，涵盖水浸提颗粒释放量与物性指标

4. IEST-RP-CC003.4 洁净室服装系统评价推荐实施程序，采用滚筒发尘试验评价服装系统

5. GB/T 27025.1-2019 检测和校准实验室能力的通用要求，规范试验流程与质量控制要素

6. JJF 1059.1-2012 测量不确定度评定与表示，用于颗粒计数结果的测量不确定度评估

7. GB/T 8170-2008 数值修约规则与极限数值的表示和判定，约束报告数据的修约与判定

检测设备

1. 激光液体颗粒计数器：粒径灵敏度0.2微米，32个粒径通道，进样流速10至100毫升每分钟

2. 光学空气粒子计数器：粒径范围0.3至25微米，采样流量28.3升每分钟，支持等动力采样

3. 滚筒发尘测试装置：不锈钢滚筒配可调速驱动，转速1至60转每分钟连续可调

4. 垂直层流洁净工作台：工作区洁净度五级，断面风速0.36至0.54米每秒

5. 电子分析天平：分度值0.01毫克，最大称量220克，配防风罩

6. 恒温恒湿调节箱：温度15至40摄氏度，相对湿度30至70百分比可调

7. 涡旋混匀振荡器：转速300至3000转每分钟，具备连续与脉冲两种模式

8. 往复弯曲摩擦试验机：弯曲次数1至10万次可设定，往复频率1至5赫兹

9. 真空抽滤装置与洁净采样瓶：配套0.2微米与0.45微米孔径滤膜，采样瓶经本底验证

10. 视频显微镜：放大倍率40至1000倍，配图像分析纤维计数软件