静电卡盘电容检测

检测项目

1. 静电电容值(10-100pF，精度±0.5%)

2. 绝缘电阻(≥1×10^14Ω)

3. 漏电流(≤1μA@1000V)

4. 介电强度(≥20kV/mm)

5. 吸附保持力(≥50N/Φ300mm)

检测范围

1. 陶瓷静电卡盘：Al2O3基体

2. 氧化铝静电卡盘：99.5%纯度

3. 氮化铝静电卡盘：高导热型

4. 石英静电卡盘：8英寸规格

5. 复合陶瓷卡盘：12英寸规格

检测方法

1. GB/T 1408-2016 绝缘材料电气强度试验方法

2. GB/T 10064-2006 固体绝缘材料绝缘电阻测定

3. SEMI E22-0308 静电卡盘测试方法

4. GB/T 28864-2012 半导体器件机械试验方法

5. IEC 60247:2004 绝缘液体相对介电常数测定

检测设备

1. LCR数字电桥(TH2829A)：10Hz-1MHz

2. 高阻计(ZC36)：10^4-10^15Ω

3. 耐电压测试仪(CS2674CX)：0-20kV

4. 静电计(Keithley 6517B)：10aA-20mA

5. 介电强度测试仪(HJC-50kV)：0-50kV

6. 高精度电容表(YY2811D)：0.01pF-1F

7. 表面电阻测试仪(STA-1)：10^3-10^13Ω

8. 热常数分析仪(HOT DISK TPS2500S)

9. 半导体参数分析仪(4200A-SCS)

10. 数字万用表(Keithley DMM6500)

以上是与"静电卡盘电容检测"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检检测技术研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。