检测项目
1. 静电电容值(10-100pF，精度±0.5%)
2. 绝缘电阻(≥1×10^14Ω)
3. 漏电流(≤1μA@1000V)
4. 介电强度(≥20kV/mm)
5. 吸附保持力(≥50N/Φ300mm)
检测范围
1. 陶瓷静电卡盘：Al2O3基体
2. 氧化铝静电卡盘：99.5%纯度
3. 氮化铝静电卡盘：高导热型
4. 石英静电卡盘：8英寸规格
5. 复合陶瓷卡盘：12英寸规格
检测方法
1. GB/T 1408-2016 绝缘材料电气强度试验方法
2. GB/T 10064-2006 固体绝缘材料绝缘电阻测定
3. SEMI E22-0308 静电卡盘测试方法
4. GB/T 28864-2012 半导体器件机械试验方法
5. IEC 60247:2004 绝缘液体相对介电常数测定
检测设备
1. LCR数字电桥(TH2829A)：10Hz-1MHz
2. 高阻计(ZC36)：10^4-10^15Ω
3. 耐电压测试仪(CS2674CX)：0-20kV
4. 静电计(Keithley 6517B)：10aA-20mA
5. 介电强度测试仪(HJC-50kV)：0-50kV
6. 高精度电容表(YY2811D)：0.01pF-1F
7. 表面电阻测试仪(STA-1)：10^3-10^13Ω
8. 热常数分析仪(HOT DISK TPS2500S)
9. 半导体参数分析仪(4200A-SCS)
10. 数字万用表(Keithley DMM6500)