检测项目
晶胞参数测定(a, b, c轴长度,误差范围±0.001 Å)
晶面间距计算(d值精度±0.0005 nm)
晶胞体积分析(V=abc·sinβ,β角误差±0.05°)
晶系对称性验证(立方/六方/正交等晶系判定)
晶体缺陷密度评估(位错密度分辨率≤1×10⁶ cm⁻²)
检测范围
金属材料:铝合金、钛合金、高温合金等
半导体材料:硅晶圆、GaN、GaAs等
陶瓷材料:氧化锆、碳化硅、氮化铝等
高分子结晶材料:聚乙烯、聚丙烯单晶
纳米材料:量子点、金属有机框架(MOFs)
检测方法
X射线衍射法:ASTM E975、GB/T 23413
选区电子衍射(SAED):ISO 16700、GB/T 36065
高分辨透射电镜(HRTEM):ISO 21358
同步辐射技术:ISO 24173
中子衍射法:ASTM E1426
检测设备
X射线衍射仪:Rigaku SmartLab,2θ角度分辨率0.0001°
场发射扫描电镜:FEI Nova NanoSEM 450,分辨率1.0 nm@15 kV
透射电子显微镜:JEOL JEM-2100Plus,点分辨率0.19 nm
原子力显微镜:Bruker Dimension Icon,Z轴分辨率0.1 nm
拉曼光谱仪:Horiba LabRAM HR Evolution,光谱分辨率0.35 cm⁻¹