束斑检测

检测项目

1.束斑直径测量：采用半高全宽(FWHM)法测定1-500μm范围束斑尺寸

2.能量密度分布：二维平面分辨率达0.1μm/pixel的功率密度测绘

3.焦深特性分析：轴向聚焦深度测量精度0.5μm

4.束流稳定性：30分钟持续监测波动率≤1.5%

5.发散角计算：基于CCD成像的角分辨率0.05mrad

6.空间相干性：干涉条纹对比度≥85%

检测范围

1.金属合金焊接熔池形貌分析

2.半导体晶圆刻蚀质量评估

3.陶瓷基复合材料微结构改性区域

4.高分子材料表面功能化处理区

5.光学元件镀膜层界面特性研究

6.生物医用材料微孔加工质量验证

检测方法

ASTME3076-18电子束焊接系统性能测试规范

ISO11146-1:2021激光束宽度、发散角测试方法

GB/T26184-2010电子光学系统分辨力测试通则

ISO11554:2017光学与光子学-激光束功率测试方法

GB/T38855-2020激光加工设备光束质量评价方法

ASTMF312-08(2020)聚焦离子束系统性能表征

检测设备

1.Ophir-SpiriconLBS-300HP：激光束剖面分析仪，波长范围190-2200nm

2.HamamatsuC10910D：电子束诊断相机，分辨率20482048像素

3.ZeissSigma500：场发射扫描电镜搭配STEM探测器

4.KeyenceVK-X3000：3D激光显微系统，Z轴分辨率0.1nm

5.BrukerContourGT-X3：白光干涉仪用于表面形貌重建

6.OxfordInstrumentsAZtecSynergy：能谱仪配合EBSD系统

7.ThorlabsBP209-IR/M：红外光束分析相机响应波段900-1700nm

8.Agilent86100D：高速示波器支持40GHz带宽测量

9.MalvernPanalyticalEmpyrean：X射线衍射仪配备微区光学系统

10.HoribaLabRAMHREvolution：共聚焦拉曼光谱仪空间分辨率0.5μm

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"束斑检测"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检检测技术研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。