检测项目

表面粗糙度（Ra0.01-10μm；Rz0.05-50μm；Rq0.02-12μm）

轮廓精度（0.1μm直线度；0.3μm圆度；0.05角度偏差）

波纹度（Wt0.1-100μm；波长0.08-8mm）

微观形貌特征（峰谷高度差≤200nm；曲率半径≥5μm）

表面缺陷识别（划痕深度≥50nm；凹坑直径≥10μm）

检测范围

金属材料：铝合金轧制板材（厚度0.5-10mm）、不锈钢精密铸件（公差IT6-IT8）

高分子材料：注塑成型件（收缩率≤0.5%）、光学级PC/PMMA板材（透光率≥90%）

陶瓷材料：氧化锆结构件（密度≥6.05g/cm）、氮化硅轴承球（圆度≤0.1μm）

光学元件：非球面透镜（面形精度λ/10）、衍射光栅（刻线密度600-2400线/mm）

复合材料：碳纤维增强环氧树脂板（层间剪切强度≥60MPa）、陶瓷基刹车片（摩擦系数0.35-0.45）

检测方法

ASTME43-2021《表面粗糙度测量标准规程》第Ⅳ章接触式探针法

ISO4287:2023《几何产品规范(GPS)-表面结构:轮廓法》第5.3节滤波处理要求

GB/T3505-2022《产品几何技术规范表面结构轮廓法术语、定义及表面结构参数》附录C

GB/T10610-2021《产品几何技术规范(GPS)表面结构轮廓法评定表面结构的规则和方法》第7章

ISO25178-604:2022《非接触式共聚焦显微镜测量方法》三维形貌分析条款

检测设备

MitutoyoSurftestSJ-410：接触式轮廓仪，分辨率0.01μm，最大行程150mm

TaylorHobsonFormTalysurfi-Series120：非接触白光干涉仪，垂直分辨率0.1nm

BrukerContourGT-X3：三维光学轮廓仪，扫描速度50μm/s，Z轴重复性0.02%

KeyenceVK-X3000：激光共聚焦显微镜，最大放大倍率15000，XY分辨率10nm

ZeGagePlus3D：数字全息显微镜，测量面积100100mm，采样频率200Hz

AliconaInfiniteFocusG5：焦点变化式测量系统，景深300mm，横向分辨率0.5μm

MahrMarSurfLD260：气浮导轨式轮廓仪，测量力0.75mN20%，符合VDI/VDE2655标准

JenoptikWaveline：多传感器测量系统，集成接触/光学双模式，温度补偿精度0.1℃

OlympusLEXTOLS5000：激光扫描显微镜，405nm波长激光源，Z轴线性误差≤0.08%

ZygoNewView9000：相移干涉仪，RMS重复性＜0.01nm，支持ISO25178全参数分析