检测项目
1.几何尺寸精度:线性尺寸(0.001mm至0.05mm)、角度偏差(1"至30")
2.表面粗糙度:Ra0.01μm-6.3μm轮廓算术平均偏差
3.形位公差:平面度(≤0.005mm/m)、圆度(≤0.002mm)、同轴度(≤0.01mm)
4.硬度测试:洛氏硬度HRC20-70、维氏硬度HV100-1000
5.材料成分分析:元素含量误差≤0.01wt%
检测范围
1.金属材料:铝合金(6061-T6)、钛合金(TC4)、不锈钢(316L)
2.高分子材料:PEEK工程塑料(ISO527标准件)、PTFE密封件
3.精密机械部件:滚珠丝杠(DIN69051)、谐波减速器齿轮
4.光学元件:非球面透镜(曲率半径0.05%)、棱镜角度误差
5.电子元器件:PCB板层间对准度(12μm)、BGA焊球共面性
检测方法
1.ISO10360-2:2009坐标测量机验收标准
2.ASTME18-22金属材料洛氏硬度试验方法
3.GB/T1031-2009表面粗糙度参数及测量规范
4.ISO1101:2017几何公差标注与验证体系
5.GB/T4340.1-2009金属维氏硬度试验第1部分
检测设备
1.MitutoyoCRYSTA-ApexS系列三坐标测量机(分辨率0.1μm)
2.TaylorHobsonFormTalysurfi120表面轮廓仪(Ra测量范围0.01-50μm)
3.RenishawXL-80激光干涉仪(线性测量精度0.5ppm)
4.ZEISSO-INSPECT322复合式测量系统(光学+接触式探测)
5.Instron6800系列万能材料试验机(载荷精度0.5%)
6.BrukerQ4TASMAN直读光谱仪(元素分析精度0.001%)
7.KeyenceVR-5000三维形貌分析系统(Z轴分辨率10nm)
8.HexagonAbsoluteArm7轴便携测量臂(空间精度15μm)
9.Agilent5500原子力显微镜(横向分辨率1nm)
10.NikonNEXIVVMZ-S656T视频测量系统(放大倍率3500X)