检测项目
1.散射层厚度测量：精度5nm，测量范围50nm-10μm
2.折射率分布分析：波长范围400-1500nm，空间分辨率1μm
3.表面粗糙度检测：Ra值0.1-100nm，扫描面积100100μm
4.光散射系数测定：入射角0-85，波长632.8nm
5.孔隙率评估：分辨率0.1vol%，测试压力0.1-200MPa
检测范围
1.光学薄膜：AR/IR镀膜、滤光片功能层
2.光伏材料：PERC电池钝化层、HJT非晶硅层
3.半导体涂层：ALD沉积介质层、CVD硬质涂层
4.纳米复合材料：量子点分散层、石墨烯复合膜
5.医疗器材涂层：生物活性羟基磷灰石涂层
检测方法
ASTME903-20材料太阳吸收比测试规范
ISO14782:2017塑料雾度与透光率测定
GB/T9758-2022色漆清漆镜面光泽测定法
ISO13696:2002光学元件散射特性测试
GB/T36141-2018建筑玻璃可见光透射比测定
检测设备
1.J.A.WoollamM-2000U椭圆偏振仪：宽光谱(190-1700nm)膜厚测量系统
2.BrukerDimensionIcon原子力显微镜：PeakForceTapping模式表面形貌分析
3.PerkinElmerLambda950分光光度计：150mm积分球散射光测量模块
4.ZygoNewView9000白光干涉仪：0.1垂直分辨率三维轮廓仪
5.HoribaLabRAMHREvolution拉曼光谱仪：532/633/785nm多波长共聚焦系统
6.MalvernPanalyticalEmpyreanX射线衍射仪：薄膜专用GIXRD附件
7.KeyenceVK-X3000激光共聚焦显微镜：405nm紫色激光光源系统
8.Agilent5500扫描探针显微镜：接触/非接触双模式工作平台