微分测量检测

检测项目

表面粗糙度测量：Ra值（0.01-25μm）、Rz值（0.05-100μm）、波纹度（Wt0.1-50μm）

三维形貌重构：Z轴分辨率1nm，XY扫描范围5050mm

纳米级平面度检测：平面度误差≤0.3μm/100mm

微结构高度差测量：量程500μm，重复精度0.8nm

动态轮廓跟踪：采样频率10kHz，最小曲率半径0.1mm

检测范围

金属材料：铝合金轧制板材、钛合金精密铸件、不锈钢抛光表面

陶瓷制品：氮化硅轴承球面、氧化锆牙科修复体烧结面

高分子材料：PE管道内壁涂层、PTFE密封环端面

光学元件：蓝宝石窗口片平面度、菲涅尔透镜微结构

电子器件：PCB焊盘共面性、晶圆切割道深度

检测方法

ASTMD7127-13非接触式激光干涉法测定表面粗糙度

ISO25178-602:2010白光共聚焦三维形貌测量规范

GB/T10610-2009触针式表面粗糙度仪检定规程

ISO5436-1:2000表面轮廓标定用标准样块技术要求

GB/T18777-2009三维表面粗糙度参数及其数值规定

检测设备

MitutoyoSurftestSJ-410：接触式粗糙度仪，最大行程350mm，Z轴分辨率0.01μm

BrukerContourGT-X3：白光干涉三维显微镜，垂直分辨率0.1nm，最大视场1010mm

KeyenceVK-X3000：激光共聚焦显微镜，405nm波长激光源，XYZ重复精度0.02μm

TaylorHobsonPGI1240：非接触式轮廓仪，120mm量程导轨，0.8nmRMS噪声水平

ZygoNewView9000：相移干涉仪，4MPCCD传感器，支持100100mm大区域拼接测量

OlympusLEXTOLS5000：激光扫描显微镜，405nm紫色激光器，12nm横向分辨率

AliconaInfiniteFocusG5：焦点变化式三维测量系统，20~200电动变倍物镜组

JenoptikWaveline20：多波长干涉仪配置Fizeau镜头组，支持Φ150mm大口径元件测试

NikonMM-400L：长行程测量显微镜，X-Y行程400200mm，配备DIC微分干涉组件

RenishawREVO：五轴联动测量系统集成表面光洁度探头SSP2，角度补偿范围180

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"微分测量检测"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。