检测项目
表面粗糙度测量：Ra值（0.01-25μm）、Rz值（0.05-100μm）、波纹度（Wt0.1-50μm）
三维形貌重构：Z轴分辨率1nm，XY扫描范围5050mm
纳米级平面度检测：平面度误差≤0.3μm/100mm
微结构高度差测量：量程500μm，重复精度0.8nm
动态轮廓跟踪：采样频率10kHz，最小曲率半径0.1mm
检测范围
金属材料：铝合金轧制板材、钛合金精密铸件、不锈钢抛光表面
陶瓷制品：氮化硅轴承球面、氧化锆牙科修复体烧结面
高分子材料：PE管道内壁涂层、PTFE密封环端面
光学元件：蓝宝石窗口片平面度、菲涅尔透镜微结构
电子器件：PCB焊盘共面性、晶圆切割道深度
检测方法
ASTMD7127-13非接触式激光干涉法测定表面粗糙度
ISO25178-602:2010白光共聚焦三维形貌测量规范
GB/T10610-2009触针式表面粗糙度仪检定规程
ISO5436-1:2000表面轮廓标定用标准样块技术要求
GB/T18777-2009三维表面粗糙度参数及其数值规定
检测设备
MitutoyoSurftestSJ-410：接触式粗糙度仪，最大行程350mm，Z轴分辨率0.01μm
BrukerContourGT-X3：白光干涉三维显微镜，垂直分辨率0.1nm，最大视场1010mm
KeyenceVK-X3000：激光共聚焦显微镜，405nm波长激光源，XYZ重复精度0.02μm
TaylorHobsonPGI1240：非接触式轮廓仪，120mm量程导轨，0.8nmRMS噪声水平
ZygoNewView9000：相移干涉仪，4MPCCD传感器，支持100100mm大区域拼接测量
OlympusLEXTOLS5000：激光扫描显微镜，405nm紫色激光器，12nm横向分辨率
AliconaInfiniteFocusG5：焦点变化式三维测量系统，20~200电动变倍物镜组
JenoptikWaveline20：多波长干涉仪配置Fizeau镜头组，支持Φ150mm大口径元件测试
NikonMM-400L：长行程测量显微镜，X-Y行程400200mm，配备DIC微分干涉组件
RenishawREVO：五轴联动测量系统集成表面光洁度探头SSP2，角度补偿范围180