可送检的样品类型与对应检测项目
| 样品类型 | 典型应用场景 | 主要检测项目 | 常用方法 / 参考 |
|---|---|---|---|
| 硅橡胶密封件（VMQ） | 高真空法兰、真空腔体、半导体与镀膜设备密封 | 总质量损失TML、可凝挥发物JianCeM、真空放气速率、水汽回吸量WVR、残气成分谱 | ASTM E595-15(2021)、ECSS-Q-ST-70-02C；125℃、24小时真空暴露、25℃收集板 |
| 氟橡胶密封件（FKM） | 高真空耐温耐油密封、航空航天管路与阀门 | TML、JianCeM、200至250℃高温段放气增量、压缩永久变形配合评估 | ASTM E595-15(2021)、NASA SP-R-0022A真空稳定性判据 |
| 丁腈与三元乙丙橡胶（NBR、EPDM） | 低真空泵体、腔门、门窗密封条 | 单位质量总放气量、放气速率、热真空循环后质量损失 | 定容升压法原理测定、GB/T 3163-2007术语参照 |
| 有机硅灌封胶与密封胶 | 电子器件真空封装、光电模块、传感器灌封 | TML、JianCeM、固化副产物挥发分、残气分压谱 | ASTM E595-15(2021)；四极质谱残气分析 |
| 环氧结构胶黏剂 | 真空器件粘接、光学元件固定、航天结构件 | TML、JianCeM、放气动力学曲线、冷凝沉积速率 | ASTM E1559-09石英晶体微天平法 |
| 聚氨酯弹性体制品 | 真空吸盘、覆膜胶辊、真空工装夹具 | 总放气量、放气速率、低温段可凝物占比 | ASTM E595-15(2021)；气相色谱质谱联用定性 |
检测项目
1. 总质量损失TML:航天级判据不大于1.00%,125℃、24小时真空暴露后称重计算
2. 可凝挥发物JianCeM:判据不大于0.10%,25℃收集板冷凝物占试样原质量百分比
3. 真空放气速率:硅橡胶室温典型10的负6至10的负9次方帕升每秒每平方厘米,真空烘焙后可降低一个数量级
4. 水汽回吸量WVR:23℃、相对湿度50%平衡后典型不大于0.20%,评估环境吸湿回潮
5. 残气成分谱:水汽占比常超60%,二氧化碳、氢气、甲烷分压比,质量数范围1-200原子质量单位
6. 单位质量总放气量:0.01-10帕升每克,定容升压法压升曲线累计换算
检测范围
1. 硅橡胶:VMQ沉淀法与气相法胶料,邵氏硬度50-70度,真空法兰O型圈与垫片
2. 氟橡胶:FKM 26型、246型,长期耐温200-250℃的高真空密封件
3. 丁腈与三元乙丙橡胶:NBR、EPDM低真空泵体密封与腔门密封制品
4. 真空封装胶黏剂:有机硅灌封胶、环氧结构胶,电子与光电器件封装粘接
5. 橡胶密封制品:O型圈、垫片、真空阀隔膜、波纹管、真空吸盘
检测方法
1. ASTM E595-15(2021) 真空环境材料总质量损失与收集可凝挥发物试验方法
2. ECSS-Q-ST-70-02C 空间材料热真空放气筛选试验
3. ASTM E1559-09 航天材料污染放气动力学测定 石英晶体微天平法
4. NASA SP-R-0022A 真空稳定性判据 TML与JianCeM限值要求
5. GB/T 3163-2007 真空技术 术语 放气量与放气速率基础参照
检测设备
1. 真空放气测试系统:125℃样品舱与25℃收集板,真空度优于10的负3次方帕
2. 四极杆质谱残气分析仪(普发QMG 250):质量数1-200原子质量单位,分压检测限10的负11次方帕
3. 精密分析天平(赛多利斯Cubis II):可读性0.01毫克,满足TML与WVR称量
4. 石英晶体微天平:灵敏度纳克每平方厘米量级,实时监测冷凝沉积动力学
5. 涡轮分子泵机组(普发HiPace 300):抽速260升每秒,极限真空10的负7次方帕
6. 复合真空计:电容薄膜规与电离规组合,量程自大气压至10的负6次方帕
7. 热真空试验箱:温度范围零下70至200℃,真空度10的负5次方帕
8. 恒温恒湿箱:23℃、相对湿度50%水汽回吸平衡,控温精度±0.5℃
9. 真空干燥箱:试样预处理脱气,温度室温至300℃,真空度10帕
10. 气相色谱质谱联用仪:冷凝挥发物定性定量,质量范围1.5-1050原子质量单位